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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 285 Abb.387: ► Wenn Sie kein Hilfstool (Pilz) haben, benutzen Sie bitte einen Inbusschlüssel. Achten Sie in diesem Fall …

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12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
284 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Der Ausbau wird am Beispiel eines 12“-Wafer-Stretchers gezeigt. Die Vorgehensweise für 8“-
Wafer-Stretcher ist identisch.
12.4.1 Vorbereitungen zum Ausbau Wafer-Stretcher
► Führen Sie alle notwendigen Vorbereitungen durch!
1.1 "Sicherheitshinweise" [}13]
1.2 "Was vor Beginn der Arbeiten zu tun ist..." [}15]
12.4.2 Demontage Abdeckblech und Niederhalterbleche
Abb.385:
► Ziehen Sie den Wafer-Stretcher zum geöffneten Waferlift (weggeklappt) (2) und schieben Sie
den Wafer-Wechsler (Greifer) in die Parkposition(1).
Abb.386:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben des linken (3) und rechten (4) Niederhalteble-
ches.
► Schieben Sie den Wechseltisch in eine geeignete Position, um Zugang zu den Aussparungen
der Hubkolben zu bekommen.
► Benutzen Sie hierzu das spezielle Hilfstool (Pilz) zur Verdrehsicherung der Hubkolben.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 285
Abb.387:
► Wenn Sie kein Hilfstool (Pilz) haben, benutzen Sie bitte einen Inbusschlüssel. Achten Sie in
diesem Fall darauf die Bohrung in den Hubkolben nicht zu beschädigen.
Abb.388:
► Entfernen Sie die vier Inbusschrauben (3) des rechten Niederhaltebleches und entnehmen
Sie jeweils die konische Fixierscheibe und Inbusschraube.
Abb.389:
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
286 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Entnehmen Sie vorsichtig das rechte Niederhalteblech.
Abb.390:
► Verschieben Sie nun den Wafer-Stretcher in eine geeignete Position, um Zugang zu den vier
Befestigungsschrauben des linken Niederhaltebleches zu bekommen.
Abb.391:
► Entfernen Sie vom linken Niederhalteblech (4) (s.o.) die vier Befestigungsschrauben und ent-
nehmen Sie das Niederhalteblech vorsichtig.