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18 Anhang 18.2 Spezifikation: Power-Versorgung Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 487 18.2.3 Transformator-T1 mit Gleichrichtung und Anschlüssen 3-Phasen-Transformator mit nachfolgend integrierter Gleich…

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18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
486 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Optional:
Die SIPLACE hat bei etlichen Versionen in Jahr 2005-2007 eine doppelte Not-Halt-Schleife mit
UND-Verknüpfung, eingebunden mit dem Anwesenheits-Signal-Output16, X1x3-Pin7. Folgende Si-
gnale müssen an den Platinen abgeklemmt werden:
●
M_BE-Tisch 1 = Platine A5/X1re-Pin3
●
M_BE-Tisch 4 = Platine A5/X1re-Pin7
●
M_BE-Tisch 2 = Platine A5/X1qe-Pin3
●
M_BE-Tisch 3 = Platine A5/X1qe-Pin7
Anschließend müssen diese Eingänge an den Platinen Pin3/Pin7 auf 24V gelegt werden, kom-
mend von der Klemmleiste X1ra oder X1qa.
18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
18.2.1 Versorgungs- und Schaltelemente
●
3-Phasen-Netzfilter EPCOS Typ B84143-A08-R000 480/265VAC, 50/60Hz, 8A
●
1 Hauptschalter 3polig, 16A, 3LD2003-0TK53
●
1 Leistungsschutzschalter 3polig, 3RV1421-1JA10, Einstellung von 7-10A
●
3-Phasen-Gleichrichtergerät Typ 4AV3596-0EC40-0A 690VA, Schutzart: IP00
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/2A für 24VDC Monitor
●
1 Leitungsschutzschalter 2polig, 5SY6204/C/4A für 230VAC Rechner
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/2A für 24VDC Monitor
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/C/6A für 24VDC Control
●
1 Leitungsschutzschalter 1polig, 5SY2102/D/13A für 48VDC Driver
●
2 Leistungsschütze 3pol. K1/K2 Spule 24VDC / Schaltleistung 11KW / 25 A
●
2 Hilfsbaustein 1S/1Ö mit mechanischer Kopplung an K1/K2
18.2.2 Allgemeiner Aufbau der Power-Versorgung
Die werkseitig angebotene elektrische Energie (Drehstrom, ohne N-Bezug) wird im hinteren Unter-
bau (Schweißrahmen) durch eine PG13-Verschraubung direkt zum Netzfilter Z1 zugeführt.
Das PE (Earth-Potenzial) wird direkt an den Schweißrahmen (M5 Ringkabelschuh) und anschlie-
ßend an den Netzfilter angeschlossen.
Das Einspeisungskabel (4x2,5 mm²) über den Filter bis zum Hauptschalter Q1 hat eine gelb um-
mantelte Kennzeichnung.
Der Hauptschalter 3x16A (gelber Unterbau mit rotem Drehschalter) ist an der Seitenwand (rechts
oder links) am Waferlift gut zugänglich angebracht.
Die Einspeisung für die Schalttafel, kommend vom Hauptschalter, wird auf Klemme X1 geführt. Auf
der Schalttafel befindet sich die Absicherung Q2 für das 3-Phasen-Gleichrichtergerät T1.
Der Zugang zum Rechner und den Absicherungen Q1/ F1-F4 auf der Schalttafel ist durch die unte-
re Waferlift-Türe gegeben.
Durch das Aufklappen des Waferliftes und 50cm herausschieben der Schalttafel ist der Zugang zu
AMP-Motoramplifirer, IO-Platine und Vakuumpume gegeben.
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18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 487
18.2.3 Transformator-T1 mit Gleichrichtung und Anschlüssen
3-Phasen-Transformator mit nachfolgend integrierter Gleichrichtung für 24VDC und 48VDC.
Type: 4AV3596-0EC40-0A, Leistung: 690VA, Schutzart: IP00, Isolierstoffklasse: T60/B
Aufbau
●
Eingangsspannung: 415 / 400 / 380 / 230 / 204VAC, 50/60Hz,
●
Ausgangsspannung/Strom: 230VAC/3A, 48VDC/13A, 24VDC/8A
●
Mit zwei 2pol. Leistungsschutzschaltern zwischen der Sekundärwicklung und der Gleichrich-
tung.
Für 24VDC = Schutzschalter 5SY62/D8A
Für 48VDC = Schutzschalter 5SY62/D20A
Einspeisung
Die Einspeisung (3-Phasen-Wechselstrom) ist für fünf verschiedene Netzspannungen ausgelegt
und auf die jeweiligen Klemmen (Beschriftung mit Spannungsangabe 415 / 400 / 380 / 230 / 204V)
anzuschließen. Die Eingangsspannungen 200VAC (USA) und 210VAC (Japan) sind auf die Klem-
men 204V anzuschließen.
Der vorgeschaltete Überstrom-Schutzschalter Q2 ist auf Minimum 6A Auslösestrom einzustellen.
Bei der Maschinen-Option mit Waferheizung ist Q2 auf 10A Auslösestrom einzustellen.
Abgriff 230VAC
Die Ausgangsspannung 230VAC/3A (Primärabgriff T1 auf Klemme 230V und 0V) wird nur für das
Rechnernetzteil verwendet. Das Rechnernetzteil ist mit dem Leitungsschutzschalter F1 (4 A / 2pol)
abgesichert.
Die Rechnernetzspannung 230V liegt beim Einschalten des Hauptschalters Q1 an.
Abgriff 3x230VAC (für die Option Waferheizung)
Die Ausgangsspannung 3x230VAC (Primärabgriff T1 auf Klemme 3x230V) wird für die Waferhei-
zung verwendet. Die Steuerung ist für die Nachrüstung modular aufgebaut und ist mit dem Lei-
tungsschutzschalter F5 (10 A / 3pol) abgesichert.
Die Verbraucher sind zwei Heizwendel mit je 1000W und ein Querstromlüfter mit 23 W.
Abgriff 24VDC, Leerlauf ca. 26VDC
Die Ausgangsspannung 24 VDC / 8 A (2-poliger Schutzschalter-8A zwischen Wechselspannung
und Gleichrichtung) versorgt den Monitor und die Kontrollspannung für Aktoren und Sensoren.
Die Monitorspannung ist mit dem Leitungsschutzschalter F2 (2 A / 1pol) abgesichert und liegt beim
eingeschalteten Hauptschalter an.
Die Kontrollspannung ist mit dem Leitungsschutzschalter F3 (6 A / 1 pol) abgesichert und liegt
beim eingeschalteten Hauptschalter an den Klemmen X3-1..8 = GND und X3-13..16 = 24 V an.
Für Antriebe mit Not-Aus-Funktion wird eine 24V/F3 Spannung über die vorgeschalteten Schütze
K1/K2 an der Klemme X3-17 bereitgestellt.
Das 24V GND Potential ist über die Klemmen X3-8 und 9 mit Erdung verbunden.
Abgriff 48VDC, Leerlauf ca. 50VDC
Die Ausgangsspannung 48 VDC / 13 A (2-poliger Schutzschalter-20A zwischen Wechselspannung
und Gleichrichtung) versorgt die drei Verstärker AMP-19540(20) für die dafür nachfolgenden Ser-
vomotoren.
Die Spannung 48 VDC ist mit dem Leitungsschutzschalter F4 (13A/1polig) abgesichert und wird
über die vorgeschalteten Schütze K1/K2 in Reihe an der Klemme X2-6/7 bereitgestellt.
Bei Not-Aus-Funktion wird die Spannung 48 DC über die Schütze K1 und K2 ausgeschaltet.
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18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
488 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
18.3.1 Konzept Motorsteuerung
Die Motorsteuerung ist mit dem Galil-Motor-Controller DMC-18x6 (PCI-BUS) und mit dem Galil-
Servoverstärker AMP-19540(20) aufgebaut.
Der Aufbau ist modular bestückt und richtet sich nach der modularen Maschinenbestückung.
Bei der minimalen Maschinenbestückung ohne Die-Attach-Unit und ohne Wafer-Handler werden
sechs Servomotoren betrieben.
Bei der maximalen Maschinenbestückung werden zehn Servomotoren betrieben.
18.3.1.1 Bestückvarianten der Motorsteuerung
Bestückung 1: ohne Die-Attach-Unit, ohne Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1866 (6 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Bestückung 2: mit Die-Attach-Unit, ohne Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1886 (8 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
Bestückung 3: ohne Die-Attach-Unit, mit Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1866 (6 Achsen)
●
1x Motor-Controller DMC-1826 (2 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Bestückung 4: mit Die-Attach-Unit, mit Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1886 (8 Achsen)
●
1x Motor-Controller DMC-1826 (2 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Die Motor-Controller DMC-1866(86) und DMC-1826 steuern jeden Servoverstärker
AMP-19540(20) über ein 100poliges Kabel.
Die Spannungsversorgung (Zwischenkreisspannung) für die Verstärker AMP-19540(20) beträgt
48VDC.
Die Zwischenkreisspannung ist abgesichert über F4/13A und wird aus-/eingeschaltet mit K1 und
K2 in Reihe, initiiert über die Not-Aus-Funktion.
Etliche Motor-Kontrollsignale werden über den Verstärker AMP-19540(20), Stecker AUX-IO J3x
weitergeleitet zu den Adapterplatinen DMC-INT1(2) (siehe auch I/O System).
Die jeweils zu dem Motor gehörenden Limit- und Referenzsensoren werden auf den Adapterplati-
nen DMC-INT1(2) angeschlossen.
Die Motor-Kontrollsignale (je Motor 1x Referenz, 2x Limit, 1x Amplify-enable) werden mit LEDs an
den Adapterplatinen DMC-INT1(2) angezeigt.
Die Referenz- und Limitsensoren an den "DMC18x6" können mit NPN oder auch mit PNP betrie-
ben werden.
Die gemeinsame "LSCOM"-Verbindung für die Sensoren zu den "DMC18x6" wird über die Adap-
terplatine "DMC-INT1(2)" mit Jumper "J2(J4)" auf COM24 gelegt, sodass die Sensoren mit PNP-
Logik arbeiten.
Für die Run-Freischaltung der Motoren muss das jeweilige Limitsignal auf +24V liegen.