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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen 354 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen Der Ausbau des S…

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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 353
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Sämtliche Achsen und Motoren im SWS werden durch Servoverstärker angetrieben.
Es werden zwei verschiedene Typen von Servoverstärkern (Motor-Amplifier) eingesetzt:
●
AMP-19540 → für 4 Motoren
●
AMP-19520 → für 2 Motoren
Abb.495:
Motor-Amplifier AMP-19540 (5) für die Achsen:
●
Wafer-Table X (6)
●
Wafer-Table Y (6)
●
Die-Ejector Tool-Change (6)
●
Die-Ejector (6)
Motor-Amplifier AMP-19540 (7) für die Achsen:
●
Flip-Rotate (Dreh-Achse Flip-Unit) (8)
●
Flip Z-Achse Pick Up (8)
●
Die-Attach-Unit Rotate (9) → Optional
●
Flip X-Achse /Hand-Over (9) → Optional
Da das Die-Attach-Modul eine Option ist, wurde in älteren Modulen nur eine AMP-19520 für zwei
Achsen verbaut. Bei Nachrüstung dieser Option muss eine AMP-19540 für vier Achsen eingebaut
werden.
In neueren Modulen wurde aufgrund der problematischen AMP-Nachrüstung hier standardmäßig
eine AMP-19540 für 4 Achsen eingeführt.
Es sind jedoch noch SWS mit AMP-19520 für die Achsen (8) im Feld:
●
Motor-Amplifier AMP-19520 (10) für die Achsen:
– Magazin Lift (11)
– Wafer-Handler (Greifer) (11)
Hier ist eine AMP-19520 für zwei Achsen ausreichend, da diese im Turmboden des Waferlifts ver-
baut ist und keine zusätzlichen optionalen Achsen hinzukommen.
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354 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen
Der Ausbau des Servoverstärkers AMP-19520 im Wafer-Lift-Boden wird nicht gesondert beschrie-
ben. Die Vorgehensweise ist analog.
Die Beschreibung zeigt den Ausbau der AMP-19540 für AXIS1-4. Diese Karte ist am schwierigsten
zugänglich.
► Bauen Sie das SWS aus der Maschine aus (siehe 4.1 "SWS ausbauen" [}59]).
► Klappen Sie den Waferlift zur Seite (siehe 4.3 "Magazinlift aufschwenken" [}65]).
Abb.496:
► Entfernen Sie die beiden Inbusschrauben des Einschubblechs (wo der BoxPC montiert ist).
Abb.497:
► Entfernen Sie das rechte Seitenblech.
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Abb.498:
► Der Zugang zu den GALIL-Karten AMP-19540 AXIS1-4 (1) und AMP-19540 AXIS5-8 ist ziem-
lich verbaut und daher schwer zugänglich.
TIPP: Um die Demontage der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (1) zu erleichtern, kann man die
Vakuumpumpe inklusive Schutzbügel (3) demontieren.
Nachfolgend wird der Ausbau ohne demontierte Vakuumpumpe gezeigt.
Abb.499:
► Ziehen Sie das Einschubblech nach vorne (1).
Achten Sie darauf, dass es nicht zu sehr kippt und die hinteren Kabel des Einschubes nicht
allzu sehr gespannt werden.
► Entfernen Sie sämtliche Kabel an der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (2).
HINWEIS
Im Bild kann man im Turm die GALIL-Karte AMP-19520 für die Waferlift- und Wafer-
Wechsler-Achsen sehen (3).