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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 307 Abb.433: ► Montieren Sie das Abdeckblech mit den vier Kreuzschlitz-Schrauben (1) bis (4) und der Inbus- schraube am …
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
306 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Verbinden Sie den Stecker X11.
Abb.431:
► Montieren Sie das Abdeckblech mit den sechs Schrauben.
Verlegen Sie den Pneumatikanschluss wie im Bild zu sehen.
12.6.4 Montage Abdeckblech und Niederhaltebleche
Abb.432:
► Positionieren Sie den Wafer-Stretcher zur Waferlift-Seite hin.
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 307
Abb.433:
► Montieren Sie das Abdeckblech mit den vier Kreuzschlitz-Schrauben (1) bis (4) und der Inbus-
schraube am Klemmzylinder (5).
Abb.434:
► Montieren Sie nun das linke (3) und das rechte Niederhalteblech (4) mit den jeweils vier
Schrauben inklusive der konischen Fixierscheibe.
Ziehen Sie die Schrauben zunächst nur leicht an.
► Richten Sie die Niederhaltebleche aus.
Ziehen Sie die Schrauben wie folgt an:
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
308 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.435:
► Benutzen Sie zum Festschrauben den Pilz oder einen Inbusschlüssel als Hilfsmittel zur Ver-
drehsicherung der Hubkolben.
Abb.436:
Nun ist der Wafer-Stretcher komplett eingebaut.
Führen Sie die notwendigen Kalibrierungen durch.
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
12.7.1 Dehnfaktor mechanisch einstellen
Der Dehnfaktor kann in vier Stufen am SIPLACE SWS Wafer-Stretcher mechanisch eingestellt
werden. Dazu müssen Sie an sechs Positionen die entsprechenden Einstellungen vornehmen.
12.7.1.1 Vorbereitungen
► Bitte führen Sie die Maßnahmen gemäß Abschnitt 12.3 "Vorbereitenden Maßnahmen zum Ar-
beiten am Wafer-Stretcher" [}282] durch.