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9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 197 9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage Abb.254: Crashsensor und Slotabfrage am Magazinlift ● Der Crashsensor (1) überwacht, ob …

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9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
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9.1.1.3 Näherungsschalter tauschen
Die beiden Näherungsschalter überwachen den oberen und unteren Endanschlag der Hubachse
des Magazinliftes. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Platine DMC im unteren
Bereich des Magazinliftes angeschlossen.
Abb.253: Näherungsschalter Hubachse Magazinlift (Detailansicht)
●
Der Näherungsschalter (1) für die obere Position der Hubachse befindet neben der Linear-
führung oben.
●
Der Näherungsschalter (2) für die untere Position der Hubachse befindet neben der Linear-
führung unten.
► Entfernen Sie die Schraube am jeweiligen Näherungsschalter.
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Platine DMC aus (siehe auch 9.1.2 "Elektrik" [}202]).
► Montieren Sie den Näherungsschalter.
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Platine DMC.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
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9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage
Abb.254: Crashsensor und Slotabfrage am Magazinlift
●
Der Crashsensor (1) überwacht, ob der Lift frei ist. D.h. dass sich kein Wafer im Verfahrbe-
reich der Hubachse befindet.
●
Die Slotabfrage (2) überprüft jeden Einschub des Magazins, ob sich darin ein Wafer befindet.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeigen leuchten:
– DI25 Wafer slot sensor
– DI26 Lift crash sensor
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9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist
Zwei Kippschalter auf der Magazinplatte des Waferlifts überprüfen, ob eine Waferkassette einge-
legt ist.
Abb.255: Kippschalter am Magazinlift
1. Kippschalter für Waferkassette 8"
2. Kippschalter für Waferkassette 12"
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Die Anzeige leuchtet:
– DI28 Magazine present
Die Anschlusskabel sind zur Platine DNC verlegt und dort angeschlossen (siehe 9.1.2 "Elek-
trik" [}202]).