00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第371页
15 Kalibrierung 15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 371 Abb.523: ► (3) Klappen Sie den Stützfuß aus und drehen Sie den kompletten Magazinli…

15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
370 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.521:
► Wählen Sie Calibration wafer lift (8).
► Wählen Sie die Registerkarte Positions (9).
► Wählen Sie Go to position (10), um den Hubtisch in die Position Magazinwechsel zu fahren
15.2.4 Kabel an der Montageplatte für Setup-Modus umstecken
Benötigte Werkzeuge
●
Maschinenschlüssel
●
Inbus-Schlüssel 5mm
Arbeitsschritte
► Öffnen Sie mit Hilfe des Maschinenschlüssels die vordere Tür des Magazinlifts!
Abb.522:
► Öffnen Sie die Verriegelungsschraube (2) des Turms mit Hilfe eines 5mm Inbusschlüssels
(die Schraube ist verliersicher).

15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 371
Abb.523:
► (3) Klappen Sie den Stützfuß aus und drehen Sie den kompletten Magazinlift.
WARNUNG
Stützfuß
Wenn das SWS frei steht und der Stützfuß nicht in der äußeren Position ist, kann das SWS
umfallen und schwere Verletzungen verursachen.
Abb.524:
► (4) Position der Montageplatte für den Setup-Modus.

15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
372 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.525:
Das Bild oben zeigt die Einstellung für den Standard-Produktionsmodus (NICHT-Setup-Modus).
●
(5) Kabel MP1 ist an
(6) MP1b angeschlossen
●
(7) Kabel MP2 ist an
(8) MP2b angeschlossen
Für den Setup-Modus muss die folgende Änderung vorgenommen werden:
Abb.526:
Das Bild oben zeigt die Einstellung für den Setup-Modus (Sicherheitsmodus).
●
(9) Kabel MP1 muss an
(10) MP1b’ angeschlossen werden
●
(11) Kabel MP2 muss an
(12) MP2b’ angschlossen werden