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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 81 Abb.67: ► Heben Sie den Motor vorsichtig an und schieben Sie die komplette Spindeleinheit über die Grundplattenkante. Heben…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
80 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.65:
► Schieben Sie die Einheit Kupplungsplatte-Motor-Kupplung vorsichtig über die Spindelwelle.
► Achten Sie hierbei auf die Ausrichtung der Gravur auf der Spindelplatte.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben an. Sichern Sie die Schrauben mit Loctite 243.
Abb.66:
► Justieren Sie die Kupplung.
Die Abstände sollten ca. 6mm (1) und 4mm (2) betragen.
► Ziehen Sie die beiden Klemmschrauben der Kupplung fest!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 81
Abb.67:
► Heben Sie den Motor vorsichtig an und schieben Sie die komplette Spindeleinheit über die
Grundplattenkante.
Heben Sie den Motor dabei nur soweit an, damit die Kupplungsplatte über die Grundplatten-
kante schleift. Somit wird die Welle möglichst wenig verbogen.
Abb.68:
► Achten Sie darauf, dass beim Einschieben der Spindeleinheit das hintere Spindellager leicht
in die Lagerschale gleitet!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
82 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.69:
► Ziehen Sie die vier Schrauben (2x Oberseite und 2x Unterseite) leicht an, so dass sich die
Kupplungsplatte noch bewegen kann. Sichern Sie die Schrauben mit Loctite 243.
Abb.70:
► Ziehen Sie die komplette Wafertisch-Einheit manuell in Richtung Y-Motor.
ð Nun richtet sich die Spindel mit der Kupplungsplatte selbst aus.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben der Kupplungseinheit (2x Oberseite und 2x Unter-
seite) fest.