00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第225页

10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 225 Einbauposition der Die-Attach-Unit im SWS Abb.291: Befestigungsschrauben Die Die-Attach-Un…

100%1 / 510
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
224 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.290:
► Legen Sie die ausgebauten Teile in einen Beutel und verstauen Sie den Beutel im Flip-Chip-
Abwurfbehälter. Bewahren Sie alles in der SWS-Service-Box auf, damit Sie die Teile parat
haben, wenn Sie die Die-Attach-Unit wieder ausbauen.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 225
Einbauposition der Die-Attach-Unit im SWS
Abb.291: Befestigungsschrauben
Die Die-Attach-Unit wird wie folgt mit drei Schrauben (M5x16) an der Grundplatte des SWS ver-
schraubt!
Abb.292:
► Setzen Sie die Die-Attach-Unit vorsichtig in diese Position!
► Die Transfer-X-Achse darf nicht mit dem Laufring der Flip-Unit zusammenstoßen!
► Ziehen Sie die Transfer-X-Achse zurück und setzen Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplat-
te.
VORSICHT
Wenn Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplatte setzen beachten Sie folgende
Punkte:
► Halten Sie die Transfer-X-Achse zurück.
► Setzen Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplatte des SWS und richten Sie die Die-
Attach-Unit an den Verschraubpositionen aus.
► Setzen Sie vorsichtig die Transfer-X-Achse in den Laufring des Flip-Kopfes (Aus-
schnitt im Laufring).
ð Andernfalls kann die X-Achse beschädigt werden.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
226 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.293:
► Entfernen Sie die unteren Sicherungsschrauben (7) am Vakuumventil Y6. Lockern Sie die
obere Schraube (8) und drehen Sie das Ventil Y 6 (11) um die Position der Sicherungsschrau-
ben Nr.1(12) (M5x16) um Die-Attach-Unit zugänglich zu machen.
► Setzen Sie die Die-Attach-Sicherungsschraube ein, aber ziehen Sie diese noch nicht fest.
Abb.294:
► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 2 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen Sie diese
leicht fest.