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14 Einstellungen und Testen 14.2 Manuelle Einstellungen 364 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Main vacuum control system Abb.512: SWS-GUI - Motor Settings 14.2 Manuelle Einstellungen Abb.513: SWS-GUI …
14 Einstellungen und Testen
14.1 SWS GUI - Service Settings
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 363
14 Einstellungen und Testen
14.1 SWS GUI - Service Settings
Abb.510: SWS-GUI - Service Settings-Menü
► Wählen Sie den Button (1) Service Settings.
► Wählen Sie Motor settings (2) oder Main vacuum control system (3).
Motor Settings
Abb.511: SWS-GUI - Motor Settings
► Wählen Sie die entsprechende Baugruppe (1) um den jeweiligen Motor zu verfahren und den
jeweiligen Status der Achsen oder Endschalter zu sehen.
Für jede Baugruppe stehen die Informationen in den Registerkarten zur Verfügung:
●
Axis status
●
Parameters - control unit
●
Other
●
Statistics
14 Einstellungen und Testen
14.2 Manuelle Einstellungen
364 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Main vacuum control system
Abb.512: SWS-GUI - Motor Settings
14.2 Manuelle Einstellungen
Abb.513: SWS-GUI - Manuelle Einstellungen
► Wählen Sie den Button (1) Manuelle Einstellungen.
► Wählen Sie Manuelle Subsysteme (2) und wählen Sie dann IOs (3).
14 Einstellungen und Testen
14.3 Kamera Kalibrierung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 365
IOs
Abb.514: SWS-GUI - Manuelle Einstellungen - Manuelle Subsysteme
1. Manuelle Einstellungen
2. IOs
3. Registerkarten der Subsysteme
14.3 Kamera Kalibrierung
Abb.515: SWS-GUI - Service-Menü
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service
(1) und wählen Sie
dann Die handling calibration (2).