FUJI错误代码查询.pdf - 第3224页

骤解除异常。 １．可能是空料盘的吸取位置不安定。请进行吸取位置的调整。请将空料盘的吸取位置指定在没有开孔的凹槽位置上。 ２．可能是料盘吸取器的气源压力不足。请进行气源压力的确认。 ------------------------------ Code: 80003916 Display: 发生了Ｚ轴高度联锁 Used by: NXT,AIM Cause: [ 异常监视 ] 在Ｚ轴下降状态下想要进行X,Y,XS和R轴的动作。因为存在吸嘴折…

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( 补充编码 )
Remedy: 请接通机器的电源并修正。
频繁发生时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80003912
Display: 模组没有被夹紧
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 监视异常 ] 模组不是处于夹紧状态。
( 补充编码 )
Remedy: 请用力推入模组。确认了定位就会自动被夹紧。
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Code: 80003913
Display: 模组没有被夹紧
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 监视异常 ] 进行运行前的确认，但模组没有被夹紧。
( 补充编码 )
Remedy: 请用力推入模组。
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Code: 80003914
Display: 料盘吸取器落下异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 空料盘排出动作中料盘吸取器落下了。
( 补充编码 补充编码的前４位表示发生了异常的平台。
前４位
0000　平台1中发生了异常。
0001　平台2中发生了异常。 )
Remedy: 请小心地拆下发生了异常的平台的料盘单元。（料盘吸取器与料盘单元是使用气管连接在一起的。如果料盘
吸取器被安装在工作头上时，请注意料盘吸取器有可能脱落。）如果料盘吸取器被安装在工作头上时，请用手拆下料盘
吸取器。向上抬起吸取器升降板后，吸取器拆下用升降杆就会打开，请将料盘吸取器返回到吸取器升降板上，用手压下
吸取器升降板。另外，请用手除去要废弃的空料盘。（在进行这些作业时请注意不要损伤气管。）之后，请按照以下步
骤解除异常。
１．请确认料盘吸取器和工作头的吸取面上有无脏物吸附和破损。此外，请确认防止吸取器落下用的磁铁有无弄脏和破
损。
※尽管实际上料盘吸取器并没有落下，但是，如果发生了该错误，请利用IoMonitor ，确认工作头的插头号码X110(工
作头2时为X150)的输入。ON的场合可能是传感器异常。
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Code: 80003915
Display: 空料盘落下异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 空料盘排出动作中废弃的空料盘落下了。
( 补充编码 补充编码的前４位表示发生了异常的平台，后４位表示料盘单元的错误编码。
前４位
0000　平台1中发生了异常。
0001　平台2中发生了异常。
后４位
料盘单元的错误编码
)
Remedy: 请小心地拆下发生了异常的平台的料盘单元。（料盘吸取器与料盘单元是使用气管连接在一起的。如果料盘
吸取器被安装在工作头上时，请注意料盘吸取器有可能脱落。）如果料盘吸取器被安装在工作头上时，请用手拆下料盘
吸取器。向上抬起吸取器升降板后，吸取器拆下用升降杆就会打开，请将料盘吸取器返回到吸取器升降板上，用手压下
吸取器升降板。另外，请用手除去要废弃的空料盘。（在进行这些作业时请注意不要损伤气管。）之后，请按照以下步
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骤解除异常。
１．可能是空料盘的吸取位置不安定。请进行吸取位置的调整。请将空料盘的吸取位置指定在没有开孔的凹槽位置上。
２．可能是料盘吸取器的气源压力不足。请进行气源压力的确认。
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Code: 80003916
Display: 发生了Ｚ轴高度联锁
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 在Ｚ轴下降状态下想要进行X,Y,XS和R轴的动作。因为存在吸嘴折断的可能性而停止了。
( 补充编码 )
Remedy: １．请确认吸嘴有无破损。
２．对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
３．按下ReadyOn后，请再次开始。
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Code: 80003917
Display: Y轴联锁异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] Y轴联锁确认传感器进行了检测。
( 补充编码 )
Remedy: 请将机械手向Y方向离开。
因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向X方向离开后再向Y方向离开。
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Code: 80003918
Display: Y轴联锁异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 轴动作中Y轴联锁确认传感器进行了检测。
( 补充编码 )
Remedy: 请将机械手向Y方向离开。
因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向X方向离开后再向Y方向离开。
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Code: 80003919
Display: MWU12i的料盘箱门处于敞开状态
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的料盘箱门处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请关闭MWU12i的料盘箱门。
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Code: 8000391A
Display: MWU12i的滑动式盖罩安装不良。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的滑动式盖罩安装不良，因此无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请正确安装MWU12i的滑动式盖罩。
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Code: 8000391B
Display: MWU12i的tower slide处于敞开状态
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的tower slide处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请关闭MWU12i的tower slide。
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Code: 8000391C
Display: 吸嘴置放台安装不良。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于吸嘴置放台安装不良，所以无法启动生产( 补充编码)。
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Remedy: NXT-H：请正确安装吸嘴置放台。
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Code: 8000391E
Display: 基座CPU箱温度异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：基座CPU箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认基座冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「7.16 更换冷却风
扇」章节）如果冷却风扇工作正常，则请更换CPU箱。
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Code: 8000391F
Display: 模组CPU箱温度异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：模组CPU箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认模组冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「7.16 更换冷却风
扇」章节）另外，请清洁模组内的过滤器（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「5.7.4 模组内过滤器的清扫」
章节）如果采取以上措施之后还是无法消除温度异常，则请更换CPU箱。
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Code: 80003920
Display: 请搭载尺寸与料站数合理的晶圆箱
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：如果MWU12i内未搭载料盘箱或搭载的料盘箱尺寸与料盘箱料站数跟Job不符合，则不能开始生产(
补充编码 子错误编码：应该安装的晶圆尺寸0x0001：6英寸
0x0002：8英寸
0x0003：12英寸 )
Remedy: NXT-H：请安装与Job一致的料盘箱
料箱尺寸：请确认Job内元件的Shape Data-Shape Process-Die-Wafer Size尺寸。
料箱槽：请在Configuration-Feeder Setup-Feeder Setup上确认搭载元件的料槽。在使用13料槽型料箱时，如果
Job指定了第14以后的料槽也会发生该错误。
补充编码显示合适的晶圆尺寸。
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Code: 80003921
Display: DX Protector功能工作
Used by: NXT,AIM
Cause: 通过DX Protector的保护动作，停止了轴动作。( 补充编码 )
Remedy: 请确认机器内部。
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Code: 80003922
Display: 供料器间距离异常检测
Used by: NXT,AIM
Cause: 运转中检测出供料器间的距离有空隙。(补充编码)
Remedy: 请确认供料器间距离是否满足下记条件。不满足下记条件时，请变更供料器配置。[公差值] 20mm以下
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Code: 80003923
Display: 加热器温度异常警告
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：加热器的温度不在正常范围内。可能是加热器未通电，或加热器已到使用寿命。(补充编码)
Remedy: NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向FUJI咨询。
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Code: 80003924
Display: 加热器断线
Used by: NXT,AIM
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