FUJI错误代码查询.pdf - 第4430页

Code: 8000F796 Display: 晶圆图用FTP 无法上传 Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：晶圆图上传失败。(补充编码) Remedy: MWU12i：1．请确认FTP服务器的设置。请先通过机器画面左端的Launcher窗口启动 “WafermapConverter”并按下“Settings”键，然后再确认下列内容。·IsUseFTPConnect是“Yes”状态(如果是 “No”，则变成US…

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请向FTP服务器登录晶圆图表。
还是发生错误时，请确认FTP服务器的设定。
请从机器画面左端的快速启动栏上启动WafermapConverter后，按下"Settings"键确认以下内容。
·IsUseFTPConnect变为Yes(No时变为USB运用)
·Username，Password，PortNo，AccessPoint被设定为可以连接FTP Site
[服务器条件]
·服务器种类为IIS 7.5以上
·FTP Site 的设定中 FTP目录的参照方式为MS-DOS
详细设定请参照晶圆图表安装手册。
【USB运用时】
晶圆图表可能没有从USB存储器导入到机器。
请用USB存储器将晶圆图表导入到登录的机器。
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Code: 8000F791
Display: 不存在晶圆图转换器
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于没有晶圆图的转换软件，所以不能生产。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：有可能是WafermapFtpTool 安装失败或是初始设置失败。
请实行WafermapFtpTool 的安装。
通过以上对策也无法解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F792
Display: 晶圆图专用外部工具的实行错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：FTP所连接的工具停止了。由于不能连接FTP服务器，所以无法取得晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请关关机，然后再重新接通电源。
经过上述处理后仍然发生错误时，则有可能是 WafermapFtpTool 的安装失败或是初始设置失败。
通过以上对策也无法解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F793
Display: 不存在上传的晶圆图
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：无法确认要上传的晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：该错误一般不会发生。
通过以上对策也无法解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F794
Display: 不存在晶圆图的解码器
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：未发现晶圆图的解码软件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：该错误一般不会发生。
通过以上对策也无法解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F795
Display: 晶圆图专用外部工具的实行错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：FTP所连接的工具停止了。由于不能连接FTP服务器，所以不能上传晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请关关机，然后再重新接通电源。
经过上述处理后仍然发生错误时，则有可能是 WafermapFtpTool 的安装失败或是初始设置失败。
通过以上对策也无法解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F796
Display: 晶圆图用FTP 无法上传
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆图上传失败。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．请确认FTP服务器的设置。请先通过机器画面左端的Launcher窗口启动
“WafermapConverter”并按下“Settings”键，然后再确认下列内容。·IsUseFTPConnect是“Yes”状态(如果是
“No”，则变成USB运用) ·为了连接FTP Site，Username、Password、PortNo、AccessPoint已经设置
·Upload Destination是DuplicateMap的场合，DuplicateMapPath的设置是正确的 [服务器条件] ·服务器型号为
IIS 7.5或更高级别·在FTP Site的设置中FTP目录的参照方式为MS-DOS·Upload Destination是DuplicateMap的
场合，存在通过DuplicateMapPath指定的文件夹·上传对象文件夹的写入访问许可设置的状态为“许可”。关于详细
设置，请参考晶圆图设置手册。2.机器上可能存在上传失败了的晶圆图。如需将该晶圆用于其他机器，则请先通过机器
画面左端的Launcher 窗口启动WafermapConverter，然后再手动上传晶圆图。
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Code: 8000F797
Display: 未能从晶圆图表中取得DID
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于未能从晶圆图表中取得DID，因此无法核对元件。[机器功能设定]-[主机连接功能设定]-
[Fujitrax Verifier设定]-[以条形码读取器读取的ID]的设定为”贴膜框架ID”时，以晶圆图表中取得的DID进行元件核
对。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：·晶圆图表中确认DID是否被定义，如果没有，请修正晶圆图表。·请确认[机器功能设定]-[主机
连接功能]-[Fujitrax Verifier设定]-[以条形码读取器读取的ID]的设定。
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Code: 8000F7A4
Display: 晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：安装MWU12i后，试图删除上次使用时不要的晶圆图表文件时，访问文件失败。( 补充编码 )
Remedy: NXT-H：请从机器松开MWU后再次夹紧。
再次发生异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000F7A5
Display: 晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：试图删除晶圆图表文件时，出现访问文件异常，无法完成处理。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请重启机器，再次实行清除指令。
再次发生异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000F7A6
Display: 不能实行机器上晶圆位置检查确认
Used by: NXT，AIM
Cause: MWU12i：由于没有从吸取开始指定位置到达参考裸芯片的路径，所以不能确认位置。由于不能判断开始位
置是否适当而停止生产。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：选择「RETURN」后返回补充画面。请指定吸取开始位置，使吸取进行方向有参考裸芯片。
没有能指定的位置时，请更换晶圆再次指定吸取开始位置或者选择「NEXT」(只能选择Engineer模式)后，不确认而继
续生产。从吸取开始点指定的裸芯片开始生产。
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Code: 8000F7A7
Display: 机上晶圆位置检查确认时路径裸芯片的影像处理错误。
Used by: NXT，AIM
Cause: MWU12i：从吸取开始指定位置移动到参考裸芯片的影像处理失败，重新进行影像处理的次数达到上限。由
于不能判断开始位置是否适当而停止生产。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：选择「RETURN」后返回补充画面。请指定吸取开始位置，使吸取进行方向有参考裸芯片。
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选择「NEXT」(只能选择Engineer模式)时，跳过发生错误的裸芯片，进行位置检查后，对要处理的裸芯片进行影像处
理。
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Code: 8000F7A8
Display: 在机器上晶圆位置检查确认时参考裸芯片的影像处理错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在离吸取开始位置行列的相对位置上所应有的参考的影像处理失败了。吸取开始指定位置有可能
错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:确认影像显示，位置偏移时，请选择「RETURN」，重新指定吸取开始位置。为了识别参考的影
像数据搞错时也有发生的可能性。如果能用目测确认没有问题，选择「NEXT」(只能选择Engineer模式)后转移到生产
。
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Code: 8000F7A9
Display: 参考裸芯片指定位置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：参考裸芯片的位置指定失败了。
可能在补料操作中指定了位置指定错误的参考裸芯片。
此异常当Flexa的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]中指定的参考裸芯片的位置不符合使用条件
（参照对策栏）时也会发生。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请将参考裸芯片指定位置指定在满足以下条件的位置上。
1.指定的裸芯片为参考裸芯片。
2.指定的裸芯片周围没有参考裸芯片。
3.指定的裸芯片周围有可以进行影像处理的裸芯片（好裸芯片或坏裸芯片）。
1时，请在参考裸芯片指定画面上调整位置。
2、3时，请变更晶圆图表，或者从Flexa的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]上，变更参考裸芯
片的坐标。
参照手册：Reference operation manual
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Code: 8000F7AA
Display: Rank信息异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Job内设定的Rank信息可能超过了16个种类。或者晶圆图表文件内设定的BINCODE信息可能超
过了16个种类。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认Job项目的PartData-Property-Rank to use。请修正为16个种类以内的设定后，重
新传送。2．１没有问题时，请打开出现异常的晶圆图表文件，确认生产中使用的GOOD DIE的BINCODE。修正后可
以达到上述Job指定的种类加上图表文件的记述小于16个种类的Rank信息时，请修正Job后重新传送。3．步骤２中需
要编辑图表文件时，作为临时措施，通过将生产中不使用的GOOD DIE置换为BAD DIE的BINCODE等方法，变为可
以生产。4．作为３的永久措施，请获取图表文件内使用的BINCODE的规格并联系本公司的代理店或售后服务人员
，委托进行晶圆图表转换的追加研发。读入图表文件时提供改进过的转换，可以自动判断指定码是否可以作为SKIP
DIE。
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Code: 8000F7AB
Display: 晶圆倾斜度测定失败了。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:为了补正晶圆的Q方向的倾斜度的影像处理时失败了。为了晶圆倾斜度测定需要能影像处理的裸芯
片在X方向连续的区域。(补充编码)
Remedy: MWU12i:请移动到以能影像处理的裸芯片在X方向连续的区域的中心。在X方向上没有能连续影像处理的裸
芯片时，请用「手动对齐模式」修正倾斜度。
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Code: 8000F7AC
Display: 吸取开始位置在吸取范围之外(晶圆喂料机)
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