FUJI错误代码查询.pdf - 第3881页

Remedy: 通常不会发生该错误。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系 。 ------------------------------ Code: 80009216 Display: 现在不使用此错误编码 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发…

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Code: 80009210
Display: 影像处理位置算出异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 影像处理结果有错误。
( 补充编码 0 ：X方向
1 ：Y方向 )
Remedy: 通过参考求得的间距与实际的间距间误差较大。
请重新参考。
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Code: 80009211
Display: PZ轴能够移动的范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] PZ轴的移动位置在能够移动的范围外。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认Job的「元件厚度」「吸取修正值Z」的输入值。
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Code: 80009212
Display: 生产裸芯片或参照裸芯片影像处理结果范围异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU8i：由于生产晶片影像处理结果的偏移量超出了元件尺寸的1/2，因此，行(列)有可能发生了偏移。
MWU12i：生产裸芯片或参照裸芯片的影像处理结果的偏移量超出了元件尺寸的1／3，因此，行(列)有可能发生了偏移
。(补充编码)
Remedy: MWU8i：请实行手动指令的指定吸取开始位置。MWU12i:运转重新开始后，指定吸取开始位置。偏离吸取
开始位置时，请将吸取开始位置设定在晶片中央，重新开始生产。不能解除时，生产裸芯片或者参照裸芯片可能无法正
确识别影像，请从辅助软件获取影像并进行确认。
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Code: 80009213
Display: 晶片切割宽度设定值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 在JOB中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: J请在JOB的Package Data/Package Information的[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值，或者将
[Measure Wafer Cut Width and Tilt]设定为Yes。
如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时，请在[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值。如果不知道，请通过测
试指令的晶片切割宽度设定，测定晶片切割宽度。
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Code: 80009214
Display: 晶片切割宽度检测异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 由于不能自动地检测晶圆上的晶片切割宽度，因此，想要使用JOB的晶片切割宽度，但是在
JOB中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: 如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时，请在JOB的Package Data/Package Information的[X Cut
Width],[Y Cut Width]中设定数值。如果不知道，请通过测试指令的晶片切割宽度设定，测定晶片切割宽度。
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Code: 80009215
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 )
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Remedy: 通常不会发生该错误。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009216
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009217
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009218
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009219
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921A
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000921E
Display: 不明的吸嘴安装异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 不明的吸嘴被安装在吸嘴头上。
( 补充编码 )
Remedy: 从吸嘴头上拆下吸嘴，按照吸嘴安装，将吸嘴设置到吸嘴置放台内。
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Code: 8000921F
Display: 吸嘴落下异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 存在装填在吸嘴头上的吸嘴落下的可能性。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否是吸嘴落下，从吸嘴头上将所有的吸嘴取下后，根据吸嘴安装方法将其设置在吸嘴置放台上。
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Code: 80009220
Display: 吸嘴配置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 找不到用于吸取晶片的吸嘴。
( 补充编码 )
Remedy: 请按照吸嘴安装，将吸嘴设置到吸嘴置放台上。
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Code: 80009221
Display: 吸嘴排出异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 在吸嘴置放台上没有用于排出吸嘴的空收存格。
( 补充编码 )
Remedy: 请除去吸嘴置放台上的生产中不使用的吸嘴。
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Code: 80009222
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 没有吸嘴规格数据。
( 补充编码 )
Remedy: 请重新下载Job。
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Code: 80009223
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 不存在安装着能够吸取的吸嘴的吸嘴头。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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