FUJI错误代码查询.pdf - 第3851页

------------------------------ Code: 80009110 Display: 现在不使用此错误编码 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。 ------------------------------ Code: 8…

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Code: 80009109
Display: 有可能干涉
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于TZ轴，有可能发生干涉。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910A
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910E
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000910F
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
第 3850 页
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Code: 80009110
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009111
Display: TY轴的伺服不是初始状态
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] TY轴还没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009112
Display: TY轴的错误复位未实施
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] TY轴在进行错误复位之前，执行了Dam系列的指令。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009113
Display: TY轴动作一致等待超时
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在TY轴的伺服动作的一致等待中发生了超时。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009114
Display: 数据变量未实现
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在执行TY轴进行数据参照而动作的Dam系列的指令的时候，不能够参照数据。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009115
Display: 来自TY轴伺服的错误响应
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 来自TY轴伺服的错误响应
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
第 3851 页
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009116
Display: 不能够Dam发布
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于TY轴，不能够Dam发布。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009117
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009118
Display: 增益切换失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] TY轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009119
Display: 有可能干涉
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于TY轴，有可能发生干涉。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000911A
Display: TY轴伺服行程异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 检测出TY轴伺服行程范围外的移动目标。
( 补充编码 )
Remedy: 1.请确认Job的外形数据的Length,Width等是否没有问题。
2.如果使用晶圆图表，请确认在晶圆图表的指定中没有错误。
3.如果不使用晶圆图表，请确认在晶圆示教的设定方法中没有错误。
·吸取基准位置的设定
·行列设定
4.如果在JOB中指定了参考晶片，则通过参考所求得的晶圆的倾斜、间距和中心的偏移量有可能与实物不一致。请确认
所指定的位置与实物的参考晶片的位置是否一致。
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Code: 8000911B
Display: 现在不使用此错误编码
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