FUJI错误代码查询.pdf - 第4380页

Cause: MWU12i：在吸嘴头1上安装了不明吸嘴。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。 ------------------------------ Code: 8000F412 Display: 吸嘴头2安装了不明吸嘴（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：在吸嘴头2上安装了不明吸嘴。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸…

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Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40A
Display: 吸嘴头２的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头２的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40B
Display: 吸嘴头３吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头３的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40C
Display: 吸嘴头４的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头４的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。)
Remedy: MWU12i：·请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收
存格中。·请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正确。
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Code: 8000F40D
Display: 吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F40E
Display: 吸嘴头２的吸嘴脱落（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴头２的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F40F
Display: 吸嘴头３的吸嘴脱落（供应晶圆机器）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是吸嘴头３的吸嘴滑落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。
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Code: 8000F410
Display: 吸嘴头4的吸嘴脱落（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有可能是吸嘴头4的吸嘴脱落了。( 补充编码的子码显示为原来的存放格号码。)
Remedy: MWU12i：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。
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Code: 8000F411
Display: 吸嘴头1安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
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Cause: MWU12i：在吸嘴头1上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F412
Display: 吸嘴头2安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头2上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F413
Display: 吸嘴头3安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头3上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F414
Display: 吸嘴头4安装了不明吸嘴（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在吸嘴头4上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。
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Code: 8000F415
Display: 内部处理异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在装有可用吸嘴的吸嘴头。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请重新按下开始按钮。２．在执行１的操作后仍然不能解除异常时，请重新开通电源。
３．如果执行了１，２的操作后仍然不能恢复正常，请收集发生错误时跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F416
Display: 自我诊断异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于正在吸取元件，因此无法切换到自我诊断模式。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请先实行维修保养指令-更换吸嘴，再废弃元件，然后重新切换到自我诊断模式。
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Code: 8000F417
Display: 吸嘴返回异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴置放台已满吸嘴无法返回。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请取出不使用吸嘴置放台的吸嘴。
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Code: 8000F418
Display: 元件带回检测（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出元件带回的现象。( 补充编码的子码代表对象吸嘴头的号码。1:吸嘴头1 2:吸嘴头2 3:吸嘴
头1+吸嘴头2 4:吸嘴头3 5:吸嘴头1+吸嘴头3 6:吸嘴头2+吸嘴头3 7:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头3 8:吸嘴头4 9:吸嘴头
1+吸嘴头4 A:吸嘴头2+吸嘴头4 B:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头4 C:吸嘴头3+吸嘴头4 D:吸嘴头1+吸嘴头3+吸嘴头4
E:吸嘴头2+吸嘴头3+吸嘴头4 F:吸嘴头1+吸嘴头2+吸嘴头3+吸嘴头4 )
Remedy: MWU12i：晶圆工作头内有剩余的元件时，请取出元件。没有剩余元件时，请检查晶圆工作头的吸嘴是否阻
塞。发现问题时请进行调整或更换。
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Code: 8000F419
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Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41A
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41B
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41C
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41D
Display: PR轴与PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴、PZ2轴的退至安全位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41E
Display: PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PZ2轴的退避位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41F
Display: PZ晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F420
Display: PZ晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F421
Display: PR轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴的退避位置。( 补充编码 )
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