FUJI错误代码查询.pdf - 第4413页

Code: 8000F695 Display: 没有指定存放元件（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 8000F696 Display: 晶圆台位置异常（晶圆供应装置） Used b…

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输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F659
Display: 检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能会出现碰撞，所以机器停机
。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．请打开正面门。2.请在清除料盘托架上的异物后，再次按下开始按钮。。3.上述1、2的步骤
也不能够解除异常时，请确认是否存在遮挡DX01A 元件翘起检测(FACE UP) 传感器的光线的物体。反应状态为遮光时
OFF，透光时ON。
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Code: 8000F690
Display: 自我诊断异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆台为上升状态，所以不能切换到自我诊断模式。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在实行维修保养指令-料盘箱退避（托架更换）、下降晶圆台后，再次切换到自我诊断模式。
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Code: 8000F691
Display: 没有指定取出元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F692
Display: 无吸取对象元件的异常报告（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F693
Display: 存放检测传感器异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。如果超出，则请采取下列措施
。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到
了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如
果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开始按钮或通过
EquipmentCheck关闭晶圆stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放好晶圆，使晶圆碰到晶圆stopper。
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Code: 8000F694
Display: 料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。
【对策】
（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。
（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污垢时请清扫料台的导轨部。
即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。
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Code: 8000F695
Display: 没有指定存放元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F696
Display: 晶圆台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F697
Display: 晶圆·料盘取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。
晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码 因为晶圆台的晶圆达到确认(NX035)=ON(有对象物)、托架存放
确认(NX01B)=OFF
(有对象物)，所以发生此错误。 )
Remedy: MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆·料盘的位置。
请将晶圆台内的晶圆·料盘返回到料盘箱内。
（晶圆·料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）
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Code: 8000F698
Display: 元件取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F699
Display: 存放准备位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴、TY轴不在存放准备位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69A
Display: 晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能ON，所以不能确认晶圆台在前进端。
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Code: 8000F69B
Display: 平台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不能解除。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重新开始运转。
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Code: 8000F69C
Display: 自我诊断异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到料箱内后，再重新向自我诊
断模式切换。
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Code: 8000F69D
Display: MWU高度异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：1.请先将MWU与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。2.如果执行步骤1之后异常还是无
法消除，则请重新启动机器。3.如果执行步骤2之后异常还是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人
员。
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Code: 8000F69E
Display: MWU供料托架厚度测定异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：供料托架高度测定的测定结果发生了问题。有可能高度测定传感器的安装处于不适合的状态或者
高度测定传感器出现故障。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69F
Display: 料盘接合片定位点读取异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的读取失败了。请将料盘托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）料盘托盘处于拉出状态时，请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
（２）请确认错误影像，确认接合片定位点上是否有污垢或者伤痕。因为污垢等影响不能进行识别时请进行清扫。
（３）定位点自体没有异常时
（３-１）可能料盘没有被正确安装。安装时请将料盘向料盘箱里面推到底。
之后，请重启运转。
（３-２）料站轨道上有污垢时，可能不能正常拉出。请清扫轨道和料盘托盘。
之后，请重启运转。
（４）进行了以上对策后还是发生异常时，请更换料盘托盘。
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Code: 8000F6A0
Display: MWU托架高度测定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是托架两边的某一边插入了错误的站位。如果托架两边都插入了同一站位，则有可能是高度
测定传感器安装不正确或出现了故障。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认托架两边的某一边是否插入了错误的站位。如果站位有误，则请先重新装入托架，然后再
重新开始运转。如果托架两边都插入了同一站位，请收集出错时的日志并联系售后服务人员。
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Code: 8000F701
Display: 动力ON异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的动力ON失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下紧急停止SW后，确认料盘箱门、侧面盖罩、Tower slide。
为了查明原因，请确认安全继电器ON时必需的IO。
DX000 安全继电器正常
DX001 料盘箱门关闭确认
DX002 Tower slide关闭确认
DX003 料盘箱Light Curtain确认
DX005 侧面盖罩关闭确认
DX00A 紧急停止SW正常
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