FUJI错误代码查询.pdf - 第4401页

数据报警) Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷 (瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编 码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。 (3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售…

100%1 / 5282
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F529
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F52A
Display: EZ1轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F531
Display: EZ2轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F532
Display: 未实施EZ2轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F533
Display: EZ2轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F534
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F535
Display: EZ2轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
第 4400 页
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。
(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F536
Display: Dam不能排放（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EZ2轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F538
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F539
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F53A
Display: EZ2轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F541
Display: EZ3轴的初始化超时（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统中没有完成初始化。(补充编码)
Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。
（3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F542
Display: EZ3轴发生错误所以无法动作(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服错误时，发生动作指示。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F543
Display: EZ3轴动作一致等待 超时（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服动作无法结束。(补充编码)
第 4401 页
Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。
（3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F544
Display: EZ3轴动作用数据异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时找不到参考数据。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F545
Display: EZ3轴错误（晶圆供料装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。
(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F546
Display: EZ3轴动作无法启动（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服动作无法开始。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F548
Display: EZ3轴的增益切换失败（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：增益切换失败了。可能是参数设置错误。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F549
Display: EZ3轴不能避让(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F550
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏开始延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F551
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏结束延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F552
Display: 晶圆剥离挡板打开异常（晶圆供应装置）
第 4402 页