FUJI错误代码查询.pdf - 第4714页

可能会与吸嘴发生干涉。(补充编码) Remedy: NXTR：1. 如果邻接子站位处的料盘是Job中未使用的料盘，则请移除料盘。如果料盘叠放在一起，则请将 料盘的高度降低即移除料盘。2. 如果邻接子站位处的料盘是Job中用到的料盘，则请换成其他站位。如果料盘叠放在一 起，则请将料盘的高度降低即移除料盘。 ------------------------------ Code: 8FE00000 Display: 内部处理异常( 确认料站…

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Code: 8FC50000
Display: 不能识别料站单元。
Used by: NXT,AIM
Cause: 因无法识别料站单元，无法继续进行处理。( 补充编码 无 )
Remedy: 1.安装了料站单元时请执行手动指令的[更换单元]-[更换料站托架]的指令，暂时拆除料站单元后重新安装后
重新开始补料或重新换线。没有安装料站单元时，请先切断机的器塑料外壳式断路器并进行连接，然后在重新进行元件
补充或换线。2.不能解决时，请获取发生错误时的跟踪数据并与本公司客服中心联系。
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Code: 8FC60000
Display: 检测出规格范围外的晶圆或者料盘
Used by: NXT,AIM
Cause: 在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出料槽占有的规格范围外的晶圆或者料盘。( 补充编码 )
Remedy: 1)在对象料槽的上下存在生产中不使用的晶圆或者料槽时，可能出现高度误检测。请在取出后再进行生产。
2)可以安装的规格根据料槽而不同，请对应高度变更料槽。
　料槽１：6mm以下
　料槽２：16mm以下
　料槽３～：26mm以下
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Code: 8FC70000
Display: 晶圆或者料盘高于Job设定
Used by: NXT,AIM
Cause: 在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出高于Job设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充编码 )
Remedy: 1)请将安装在料槽上的元件更换为Job中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与Job相一致。
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Code: 8FC80000
Display: 晶圆或者料盘低于Job设定
Used by: NXT,AIM
Cause: 在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出低于Job设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充编码 ),NXT,AIMEX,NXT-
H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: 1)请将安装在料槽上的元件更换为Job中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与Job相一致。
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Code: 8FC90000
Display: 晶圆环尺寸或者晶圆夹环尺寸异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为Job上设定的晶圆夹环内径大于机器上识别的晶圆环内径，机器异常停止。对象料槽上安装的
晶圆出错，或者Job的晶圆夹环的设定出错。关于每个晶圆尺寸的最大值等，请参照「晶圆生产运用手册」。( 补充编
码 ),MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: MWU12i：安装的晶圆为尺寸合适时，请进行以下变更。
1．因为Job的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Inside Diameter]过大，请变更到实际安装的
晶圆夹环内径的尺寸。
2．使用晶圆环的特殊接合片时，因为2D码上记载的内径值成为最大值，变更１的设定时请不要超过此尺寸。
3．使用方孔型的晶圆环的特殊接合片时，必须输入此值。不使用晶圆夹环时，请将Job的[Package Data] - [Package
Information] - [Grip Ring Height]设定为0。不需要高的吸取面时，请设定Job的[Shape Data] - [Shape Process] -
[Die] - [PressurePin] - [Push Up Pot Height Offset]。
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Code: 8FCA0000
Display: 邻接子站位 料盘状态异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXTR：在邻接子站位处发生了异常。推测原因如下。1. 邻接子站位处的料盘太高。2. 在邻接子站位处料盘
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可能会与吸嘴发生干涉。(补充编码)
Remedy: NXTR：1. 如果邻接子站位处的料盘是Job中未使用的料盘，则请移除料盘。如果料盘叠放在一起，则请将
料盘的高度降低即移除料盘。2. 如果邻接子站位处的料盘是Job中用到的料盘，则请换成其他站位。如果料盘叠放在一
起，则请将料盘的高度降低即移除料盘。
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Code: 8FE00000
Display: 内部处理异常( 确认料站的匹配性 )
Used by: NXT,AIM
Cause: 系统内部发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，随操作步骤一起与敝公司Support联系。为了重新开始运转请重
新接通主电源。
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Code: 8FE10000
Display: 将吸取开始点变更成了料盘原点
Used by: NXT,AIM
Cause: 由于机器中记忆的吸取开始点位于Job中指定的行·列以外的位置，因此将吸取开始点设定成了料盘原点。
( 补充编码 )
Remedy: 设定了比前次生产所使用的料盘还要小的料盘时，防止前次生产的吸取点超出料盘。
该异常解除后，想要变更吸取开始点时，
没有使用料盘验证时：请通过附加软件或者在机器上重新设定吸取开始点。
使用料盘验证时：请通过KIT Handy
重新设定吸取开始点。
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Code: 8FF00000
Display: 内部处理异常(相邻模组位置测定)
Used by: NXT,AIM
Cause: 系统内发生了处理异常。(补充编码)
Remedy: 请取得错误发生时的跟踪数据与错误发生时的操作步骤，并联系代理店或客服中心。为了重新开始运转，请
重新接通总电源开关。
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Code: 8FF10000
Display: 预想外的异常。
Used by: NXT,AIM
Cause: 种类取得、标记确认、固有值取得、设定等异常(补充编码 面向研发者的编码)
Remedy: 请收集出错时的追溯数据并联系售后服务人员。
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Code: 8FF20000
Display: XY机械手异常
Used by: NXT,AIM
Cause: ·伺服异常
·XS位置异常
( 补充编码 单元中设定的补充编码 )
Remedy: 请参考单元错误编码解决
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Code: 8FF30000
Display: 影像处理装置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: ·影像处理装置的版本不一致
·影像处理装置的准备拍摄指示
·影像处理装置的拍摄指示
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·影像处理装置的等待曝光结束
·影像处理装置的吸嘴环境数据的生成
·影像处理装置的吸嘴影像处理指示
( 补充编码 影像处理装置的错误编码 )
Remedy: (1)请确认触发电路、影像处理电路板、版本是否一致。
(2)对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 8FF40000
Display: 影像处理光源IO异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 定位相机光源IO异常
( 补充编码 单元中设定的补充编码 )
Remedy: (1)请进行IO的检查
(2)对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 8FF50000
Display: 影像处理的结果异常
(定位点的测定结果)
Used by: NXT,AIM
Cause: 定位点的读取不正确。
·相机光源的灯没亮
·搬运轨道的定位点上脏。异物脱落。
( 补充编码 单元中设定的补充编码 )
Remedy: 影像发暗时，(1)请确认相机光源的灯是否亮。(2)请确认触发电路
影像不清楚时，(1)请确认搬运轨道。(2)请清扫搬运轨道的定位点。
(3)对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 8FF60000
Display: 贴装工作头异常
Used by: NXT,AIM
Cause: ·伺服异常
·Z轴的移动范围异常
·初始动作时Ｚ轴高度异常
·吸嘴的脱落异常、吸嘴的不正确安装异常
( 补充编码 单元中设定的补充编码 )
Remedy: 请参考单元错误编码解决
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Code: 8FF70000
Display: 公差值的判定
Used by: NXT,AIM
Cause: 公差值的超出。
( 补充编码 无 )
Remedy: (1)请确认搬运轨道的定位点的安装情况。(2)对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联
系。
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Code: 8FF80000
Display: 通信异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 与相邻模组的通信时发生了异常。
( 补充编码 COMAPI的错误编码 )
Remedy: (1)请确认通信电缆是否被连接着。
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