FUJI错误代码查询.pdf - 第4792页

Used by: NXT、AIM Cause: NXT-H:由于未执行换线动作、由于无法开始晶圆的补充与供应,所以无法执行Vision Processing Test命 令。( 补充编码 ),NXT-H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER Remedy: NXT-H:请在生产模式下运转机器并完成自动校准与换线。 请按动周期停止按钮即停止生产,然后再重新执行Vision Processing Test命令。 --…

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Remedy: Switch off the vision processing test mode and transmit the job
again.
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Code: 94070000
Display: 因工作头电源OFF而无法取得工作头的信息
Used by: NXT,AIM
Cause: 在确认是否为能够影像处理的工作头时,因工作头电源OFF而无法取得工作头的信息。
(补充编码 无)
Remedy: 请按下开始按钮,使工作头的电源ON。
之后,通过周期停止按钮停止运转,然后再次执行影像处理测试指令。
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Code: 94080000
Display: MWU8i 吸取-影像处理测试异常发生
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU8i 吸取-影像处理测试中发生了异常。
( 补充编码 )
Remedy: 请参照子错误编码。
《子错误编码》
3:在机器上不存在Job。
4:机器为传送模式的设定。请在开始处理时解除传送模式。
5:机器的Profiler设定为有效。请在开始处理时解除Profiler设定。
6:机器为PAM模式。请在开始处理时解除PAM模式。
7:机器为故障运用。请在开始处理时解除故障运用。
8:机器为空转模式。
d:因为工作头没有被连接,不能开始处理。
e:因为吸嘴置放台没有被连接,不能开始处理。
10:是不能执行指令的工作头种类。
13:因为正在吸取自动运转中的元件,不能开始测试。
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Code: 94090000
Display: 虽然执行了MWU 吸取测试、影像处理测试,但是需要进行换线或MWU上的各定位点读取。
Used by: NXT,AIM
Cause: 虽然执行了MWU 吸取测试、影像处理测试,但是需要进行换线或MWU上的各定位点读取。
( 补充编码 )
Remedy: 1.请退出MWU 吸取测试、影像处理测试模式,执行自动运转。
2.请根据换线向导进行换线。
定位点读取没有被进行时,机器自动进行读取。
请最终为电路板等待状态。
3.请按下机器的周期停止按钮,成为START等待。
4.请重新执行MWU 吸取测试、影像处理测试。
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Code: 940A0000
Display: 数据编辑范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU中编辑的数据超出了公差范围,因此不能反映给机器。
( 补充编码 )
Remedy: 请修正Pickup-Offset的值,再次按下开始按钮。
详细内容请参照单元错误编码。
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Code: 940B0000
Display: Vision Processing Test命令无法执行
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Used by: NXT、AIM
Cause: NXT-H:由于未执行换线动作、由于无法开始晶圆的补充与供应,所以无法执行Vision Processing Test命
令。( 补充编码 ),NXT-H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: NXT-H:请在生产模式下运转机器并完成自动校准与换线。
请按动周期停止按钮即停止生产,然后再重新执行Vision Processing Test命令。
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Code: 94100000
Display: 内部处理异常(胶着剂涂敷测试)
Used by: NXT,AIM
Cause: 系统内发生了处理异常。
(补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转,请关闭后重新打开总电源开关。
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Code: 94110000
Display: 意想不到的异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 种类的取得、标记的确认、固有值的取得及设定等的异常。
(补充编码 面向研发人员的编码)
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时机器的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 94120000
Display: XY机械手轴动作异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在进行锡胶基准值测定动作中,
想要XY机械手动作时发生了异常。
·伺服异常
·Xs位置异常
(补充编码 为单元中设定的补充编码。)
Remedy: 由于是在想要XY机械手动作时发生了异常,
所以请参照单元错误编码。
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Code: 94130000
Display: 工作头种类异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 抽出气源的指令只是在安装胶着剂涂敷工作头时才能使用。
(补充编码)
Remedy: 请在安装胶着剂涂敷工作头后执行指令。
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Code: 94140000
Display: 料站种类异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在执行胶着剂基准值测定指令时,虽然需要胶着剂检查单元(安装在供料托架上),但是供料托架没有被安
装。
(补充编码 )
Remedy: 请在安装供料托架后执行指令。
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Code: 94150000
Display: 工作头动作异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 想要工作头动作时发生了异常。
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可考虑以下因素。
·伺服异常
·Z轴移动范围异常
·初始动作时Z轴高度异常
(补充编码 为单元中设定的补充编码。)
Remedy: 由于是在想要工作头动作时发生了异常,
所以请参照单元错误编码。
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Code: 94160000
Display: 料站访问异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 胶着剂检查单元没有被连接。
(补充编码 发生异常的料站号码)
Remedy: 1) 请插入胶着剂检查单元。2) 请重新接通电源。3) 用上述对策也不能解决时,对不起麻烦您获取
发生错误时的跟踪数据和发生状况、生产程序、影像信息,与敝公司Support联系。
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Code: 94170000
Display: Job异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 锡胶基准值测定时,需要锡胶生产用的Job。
(补充编码)
Remedy: 请传送锡胶生产用的Job。
需要1个以上的锡胶检查用顺序。
锡胶检查顺序中需要设定锡胶定位点。点胶针修正量中需要设定点胶针。
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Code: 94180000
Display: 影像处理装置异常(锡胶读取)
Used by: NXT,AIM
Cause: 锡胶读取中发生了影像处理装置异常。
可考虑以下因素。
·影像处理装置的版本不一致
·影像处理装置 拍摄准备指示
·影像处理装置 拍摄指示
·影像处理装置 等待暴光完成
·影像处理装置 影像处理指示
(补充编码 为单元中设定的补充编码。
(影像处理装置的错误编码))
Remedy: 1)请确认触发电路。
(2)请确认版本。
(3)请更换影像处理电路板。
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Code: 94190000
Display: 影像处理结果异常(锡胶影像处理)
Used by: NXT,AIM
Cause: 定位点读取中发生了不良。
可考虑以下因素。
·相机光源没有亮灯
·没有涂敷锡胶
·拍摄条件不符
(补充编码 为单元中设定的补充编码。
(影像处理装置的错误编码))
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