FUJI错误代码查询.pdf - 第4747页

向 6：＋X方向、－Y方向 7：－X方向、＋Y方向 8：－X方向、－Y方向 ) NXTR：测定结果超出公差值。推测原因 如下。·误检测了基准定位点、相机上的异物 ·组装不良( 补充编码 ) Remedy: 请重新夹紧工作头相机。请确认定位相机或下视野相机的组装情况。还是无法消除异常时，则请更换工作头 相机。NXTR：确认影像 ·异物作为定位点识别时 (1)请除去基准定位点、相机上的异物 ·定位点偏离中心时 (1)请更 换相机工作头 (2…

100%1 / 5282
Remedy: 请进行IO的检查
根据IO的结果，如果有异常请更换贴装工作头相机。
如果没有异常、对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
------------------------------
Code: 91D60000
Display: 影像处理结果取得异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 读取定位点时出现异常。推测原因如下。·相机灯没有亮灯 ·定位点上有元件等异物 ·遮蔽在搬运轨道导轨
后 ·定位点有缺损( 补充编码 是单元中设置的补充编码。(影像处理装置的错误编码) 前４位显示变为异常的XS的位置
（１～４）。) NXTR：基准定位点读取时发生了异常。推测原因如下。·基准定位点遮蔽在搬运轨道导轨后 ·检测到
基准定位点、相机上的异物 ·定位点相机光源没有亮灯( 补充编码 )
Remedy: ·影像亮度暗淡时 (1)请确认相机灯是否亮灯。(1)请确认触发电路。·影像比较模糊时 (1)请确认定位点是否
缺损。(2)请清扫相机镜头。NXTR：确认影像 ·定位点遮蔽时 (1)请确认搬运轨道导轨的位置 (2)请确认在基准定位点
上和工作头相机上有无异物 ·暗淡时 (1)请确认相机光源是否亮灯 ·比较模糊时 (1)请清扫相机的镜头
------------------------------
Code: 91D70000
Display: 测定结果在范围外的异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 测定结果超出了公差值(2mm)。
( 补充编码 前4位表示异常时的XS的位置(1～4)。)
Remedy: (1)请调整定位相机的安装状态。
(2) 请更换定位相机。
------------------------------
Code: 91D80000
Display: 搬运轨道单元异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 测定前或者测定后的搬运轨道动作中发生了异常。
( 补充编码 单元的错误编码 )
Remedy: 请参考单元错误编码来解除异常。
------------------------------
Code: 91D90000
Display: 基准位置测定结果异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 基准位置测定的测定结果超出了公差值。
(补充编码)
Remedy: 请参照单元错误编码进行解决。
------------------------------
Code: 91DA0000
Display: 定位相机基准位置测定公差值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 定位相机基准位置测定的测定结果超出公差范围。定位相机的读取位置与搬运轨道基准定位点的位置严重偏
离。( 补充编码 ) NXTR：测定结果超出公差值。推测原因如下。·误检测了基准定位点、相机上的异物 ·组装不良(
补充编码 )
Remedy: 请参考单元错误编码解除异常。NXTR：确认影像 ·异物作为定位点识别时 (1)请除去基准定位点、相机上
的异物 ·定位点偏离中心时 (1)请调整定位点相机的安装位置 (2)请更换定位点相机 (3)请更换贴片机
------------------------------
Code: 91DB0000
Display: 工作头相机基准位置测定公差值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 由于定位相机与工作头相机之间的实际距离已超出设计值的公差范围(1.5mm),所以无法测定。( 补充编码 子
错误编码表示公差值出现异常的偏移方向。1：＋X方向 2：－X方向 3：＋Y方向 4：－Y方向 5：＋X方向、＋Y方
第 4746 页
向 6：＋X方向、－Y方向 7：－X方向、＋Y方向 8：－X方向、－Y方向 ) NXTR：测定结果超出公差值。推测原因
如下。·误检测了基准定位点、相机上的异物 ·组装不良( 补充编码 )
Remedy: 请重新夹紧工作头相机。请确认定位相机或下视野相机的组装情况。还是无法消除异常时，则请更换工作头
相机。NXTR：确认影像 ·异物作为定位点识别时 (1)请除去基准定位点、相机上的异物 ·定位点偏离中心时 (1)请更
换相机工作头 (2)请调整定位点相机的安装位置 (3)请更换定位点相机 (4)请更换贴片机
------------------------------
Code: 91F00000
Display:
Used by:
Cause:
Remedy:
------------------------------
Code: 91F10000
Display: 通信错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 通信失败。
( 补充编码 是通信错误的详细编码。
请搜索这个编码并确认对策。 )
Remedy: 1.请确认模组和基座之间连接的通信电缆的连接状态。
2.请确认连接基座之间的通信电缆的连接状态。
3.请切断机器的主电源开关，重新接通电源。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Hw_Base.gif">
------------------------------
Code: 91F20000
Display: OS错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 是意想不到的错误
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据并与敝公司的Support联系。
------------------------------
Code: 91F30000
Display: 检测出图表偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果，找到了晶圆的图表偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。
请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。
请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司
的售后服务人员。
要以同样的晶圆重新开始生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
------------------------------
Code: 91F40000
Display: 检测出图表偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果，找到了晶圆上的裸芯片突发偏差。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请确认对象区域内的坏
裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日
志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司的售后服务人员。要以同样的晶圆重新开始
生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
------------------------------
Code: 91F50000
Display: 检测出图表偏移
第 4747 页
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果、有可能图表偏移或者突然发生了偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。
请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。
请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司
的售后服务人员。
要以同样的晶圆重新开始生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
------------------------------
Code: 91F60000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请收集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。　
------------------------------
Code: 91F70000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)如果还是不能解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系售后服务人员。　
------------------------------
Code: 91F80000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆使用中，晶圆图表的数据(文件)有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H：请确认晶圆图表的数据(行列数)是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的跟踪
数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件一起联系本公司的售后服务人员。　
------------------------------
Code: 91F90000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:在使用晶圆中，对象元件数据的元件尺寸有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H:请确认Job的对象元件数据的元件尺寸是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
------------------------------
Code: 91FA0000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查所必要的晶圆生产日志。对象的晶圆还没使用或者有可能晶圆生产日志损坏了。( 补充编
码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)没有开始生产时，请开始进行要检查的晶圆的生产。(2) 请调查存储器。(可用空间)。(3) 不能解
决时，请重新接通电源。(4)还是没有解决时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 91FB0000
Display: 裸芯片误吸取
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:因为处理了吸取对象以外的裸芯片，有误贴装的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取错误发生时的跟
踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司的售后服务人员。　
第 4748 页