FUJI错误代码查询.pdf - 第4749页

------------------------------ Code: 91FC0000 Display: 重复处理异常 Used by: NXT,AIM Cause: NXT-H：对同样位置的裸芯片，找到了意外的处理结果。对象的晶圆经过几次指定吸取开始点时，指定开始 点时有搞错吸取方向的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] ) Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认…

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Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果、有可能图表偏移或者突然发生了偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。
请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。
请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司
的售后服务人员。
要以同样的晶圆重新开始生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
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Code: 91F60000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请收集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。　
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Code: 91F70000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)如果还是不能解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系售后服务人员。　
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Code: 91F80000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆使用中，晶圆图表的数据(文件)有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H：请确认晶圆图表的数据(行列数)是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的跟踪
数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件一起联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91F90000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:在使用晶圆中，对象元件数据的元件尺寸有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H:请确认Job的对象元件数据的元件尺寸是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FA0000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查所必要的晶圆生产日志。对象的晶圆还没使用或者有可能晶圆生产日志损坏了。( 补充编
码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)没有开始生产时，请开始进行要检查的晶圆的生产。(2) 请调查存储器。(可用空间)。(3) 不能解
决时，请重新接通电源。(4)还是没有解决时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 91FB0000
Display: 裸芯片误吸取
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:因为处理了吸取对象以外的裸芯片，有误贴装的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取错误发生时的跟
踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FC0000
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：对同样位置的裸芯片，找到了意外的处理结果。对象的晶圆经过几次指定吸取开始点时，指定开始
点时有搞错吸取方向的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。没有搞错吸取方法时
，请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FD0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查Tool。( 补充编码 )
Remedy: NXT-H：(1)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。。(2) 没有解决时，请重新安装软件。
(3)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本
公司的售后服务人员。
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Code: 91FE0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：因为没有来自检查Tool的应答而中断了处理。( 补充编码 料槽号码[1～25] ),NXT-
H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。
(3) 没有解决时，请重新安装软件。(4)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请收
集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。
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Code: 92200000
Display:
Used by:
Cause:
Remedy:
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Code: 92210000
Display: 预想之外的异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 种类取得、标记确认、固有值取得·设定等的异常，
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 92220000
Display: XY机械手异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 要移动ＸＹ机械手时发生了异常。
·伺服异常，
·Xs位置异常
( 补充编码 )
Remedy: 在要移动ＸＹ机械手时发生了异常，请参考单元错误编码。
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Code: 92230000
Display: 影像处理装置异常
Used by: NXT,AIM
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Cause: 影像处理装置（元件相机或者定位点相机）发生了异常。
·影像处理装置的版本不一致
·影像处理装置 摄影准备指示异常
·影像处理装置 摄影指示异常
·影像处理装置 等待曝光结束异常
·影像处理装置 影像处理指示异常
( 补充编码 )
Remedy: (1)请确认触发器线。
(2)请确认版本。
(3)请进行影像处理电路板。
详细请参考单元错误编码。
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Code: 92240000
Display: 贴装工作头异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 要移动贴装工作头时发生了异常。
可以考虑是以下原因。
·伺服异常
·Z轴移动范围异常
·初期动作Ｚ轴高度异常
·吸嘴落下异常，吸嘴贴装不正确异常
( 补充编码 )
Remedy: 因在要移动贴装工作头时发生了异常，请参考单元错误编码。
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Code: 92250000
Display: 影像处理失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 由元件相机或者定位点相机的影像处理结果异常。
( 补充编码 影像处理装置错误编码 )
Remedy: ·相机上的玻璃或定位点、吸嘴是否有污垢
·相机灯是否点亮
·摄影区域上是否有异物落下，详细请在单元错误编码上确认。
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Code: 92260000
Display: 超过自动最终修正公差值
Used by: NXT,AIM
Cause: 进行最终修正测定的结果，结果超过公差值(200um)。
( 补充编码 )
Remedy: ·在将元件相机的玻璃定位点进行影像处理时，是否识别了错误的定位点或垃圾
·相机的光源是否充分明亮
·吸嘴前端是否弯曲
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Code: 92270000
Display: 没有安装治具吸嘴
Used by: NXT,AIM
Cause: 在本测定中有必要有冶具吸嘴，由于某种原因冶具吸嘴没有安装。
( 补充编码 )
Remedy: ·在贴装工作头上是否装有吸嘴
·吸嘴是否落下
·贴装工作头的吸嘴识别I/O是否正确地反应
·装有吸嘴时，吸嘴规格是否有问题
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