FUJI错误代码查询.pdf - 第3789页
------------------------------ Code: 80008BC1 Display: 外形数据整合性异常 Used by: NXT,AIM Cause: Reference mark同一行列位置指定异常 ( 补充编码 ) Remedy: 请对每个Reference指定不同的行列。 ·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by Ma…
Remedy: MWU12i:ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref. 请将Die Pos Type指定为
"Matrix"或者"WaferMap"或者"Coordinate"。变更设定后请重新传送JOB。即使进行上述对策还发生异常时,请确认
Flexa的版本和机器的软件版本是否匹配。如果匹配是正确的时候,对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据,与敝公
司Support联系。
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Code: 80008BBD
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark名文字列异常( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
·Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- Ref.Die Pos Info by Matrix - MarkName 请设定为 30文字以内。
· Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- Ref.Die Pos Info by WaferMap - MarkName 请设定为 30文字以内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BBE
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference名称文字列异常
( 补充编码 )
Remedy: 请将ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap - RefName
设定为 16文字以内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BBF
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 检测出相同的Reference名
( 补充编码 )
Remedy: 请变更 RefName,使其不重复。
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap - RefName
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC0
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark行列数指定异常
( 补充编码 )
Remedy: ·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Col 在 0 ~ 800的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Row 在 0 ~ 800的范围内进行指定。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC1
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark同一行列位置指定异常
( 补充编码 )
Remedy: 请对每个Reference指定不同的行列。
·ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Col
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Row
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC2
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark 修正量指定异常
( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
· Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
·Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
修正后、请重新传送Job
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC3
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark设定在了 Reference晶片外。( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
·Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
·Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC4
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 定期画像处理功能的有效/无效设定异常( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Process Time Mode 设定为 ”ON” 或者
”OFF”。
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设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC5
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 通过时Reference参照功能的有效/无效设定异常( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Passage Ref. Die Mode 设定为 ”ON”
或者 ”OFF”。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC6
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference名称文字列异常
( 补充编码 )
Remedy: 请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info - MarkName 设定在
30文字以下。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC7
Display: 外形数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference mark修正量指定异常( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请将 Local Ref. Die Info - Offset X 指定在 -18.0 ~ 18.0 的范围内。
- 请将 Local Ref. Die Info - Offset Y 指定在 -18.0 ~ 18.0 的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC8
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: Local Reference mark设定在了Reference晶片外。( 补充编码 )
Remedy: ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请将 Local Ref. Die Info - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2以内的范围内。
- 请将 Local Ref. Die Info - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2以内的范围内。
设定变更后请重新传送Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80008BC9
Display: 外形数据整合性异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 使用的 Reference mark 超过10个种类( 补充编码 )
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