FUJI错误代码查询.pdf - 第4412页

输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON 有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。 (3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。 ------------------------------ Code: 8000F659 Display: 检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上…

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Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F655
Display: Q台放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F656
Display: 晶圆拉出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆的拉出失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子错误编码显示没有反映的到达端传感器。
　０：左
　１：右
　２：双方
（１）：请在晶圆进入平台前端的状态下，确认晶圆到达端传感器的IO是否正常反映。
输入 NX033：晶圆到达确认（左）=ON
输入 NX035：晶圆到达确认（右）=ON
（２-１）：传感器正常反应时，请将晶圆推入料盘箱安装，直到顶住里面的挡块。
之后请重新开始运转。
（２-２）：传感器没有反应时，可考虑是传感器的异常·故障，需要进行调整·更换。
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Code: 8000F657
Display: 晶圆高度测定BKT上升异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未到达上升位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆测定BKT上升-下降的操作并确认动作是否正常。
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
下降时输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入NX02E：晶圆高度测定BKT下降端=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F658
Display: 晶圆高度测定BKT下降异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未达到下降位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：用以下的IO进行晶圆测定BKT下降-上升的操作并确认动作是否正常。
下降时输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入 NX02E：晶圆盖度测定BKT下降端=ON
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
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输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F659
Display: 检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能会出现碰撞，所以机器停机
。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．请打开正面门。2.请在清除料盘托架上的异物后，再次按下开始按钮。。3.上述1、2的步骤
也不能够解除异常时，请确认是否存在遮挡DX01A 元件翘起检测(FACE UP) 传感器的光线的物体。反应状态为遮光时
OFF，透光时ON。
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Code: 8000F690
Display: 自我诊断异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆台为上升状态，所以不能切换到自我诊断模式。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在实行维修保养指令-料盘箱退避（托架更换）、下降晶圆台后，再次切换到自我诊断模式。
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Code: 8000F691
Display: 没有指定取出元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F692
Display: 无吸取对象元件的异常报告（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F693
Display: 存放检测传感器异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。如果超出，则请采取下列措施
。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到
了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如
果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开始按钮或通过
EquipmentCheck关闭晶圆stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放好晶圆，使晶圆碰到晶圆stopper。
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Code: 8000F694
Display: 料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。
【对策】
（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。
（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污垢时请清扫料台的导轨部。
即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。
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Code: 8000F695
Display: 没有指定存放元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F696
Display: 晶圆台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F697
Display: 晶圆·料盘取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。
晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码 因为晶圆台的晶圆达到确认(NX035)=ON(有对象物)、托架存放
确认(NX01B)=OFF
(有对象物)，所以发生此错误。 )
Remedy: MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆·料盘的位置。
请将晶圆台内的晶圆·料盘返回到料盘箱内。
（晶圆·料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）
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Code: 8000F698
Display: 元件取出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F699
Display: 存放准备位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴、TY轴不在存放准备位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F69A
Display: 晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能ON，所以不能确认晶圆台在前进端。
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Code: 8000F69B
Display: 平台位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不能解除。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重新开始运转。
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Code: 8000F69C
Display: 自我诊断异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )
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