FUJI错误代码查询.pdf - 第4370页

Display: 不能收存晶圆或料盘的托架 Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码) Remedy: MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。 取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。 请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。 请继续运转机器。 ------------------------------ Code:…

100%1 / 5282
Cause: MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认(NX01C)OFF时发生。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。
------------------------------
Code: 8000F293
Display: 无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。( 补充编码 子码是需要清除的料槽的编号。)
Remedy: NXT：１．请按紧急停止按钮后打开晶圆供应装置的料盘箱门。２．请从料盘箱中取出问题晶圆或料盘后再
重新开始。
------------------------------
Code: 8000F294
Display: 变更晶圆或者料盘收存处料槽(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为本来的料槽没有空，拉出的晶圆或者料盘收存在别的料槽了。( 补充编码 子码是除去对象的
料槽号码。)
Remedy: MWU12i：１．请按下紧急停止，打开晶圆供料装置的料盘箱门。２．请从料盘箱除去对象的晶圆或者料盘
，重新开始。３．请在补充画面，与Job的设定一致，重新设定晶圆或者料盘。
------------------------------
Code: 8000F295
Display: 料盘箱松开状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为料盘箱没有锁定，所以不能开始运转。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请打开晶圆供料装置的料盘箱门，进行料盘箱底面前的锁定后固定料盘箱。锁定时请确认传感器
的状态[NX01D]。
------------------------------
Code: 8000F296
Display: 晶圆适配器识别异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：识别了没有登录的晶圆适配器。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认在晶圆适配器的适配器识别块上是否有脏或者破损。接连不能识别时，请更换晶圆适配器
。
------------------------------
Code: 8000F297
Display: 不能收存拉出晶圆或者料盘托架(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为料盘箱与晶圆或者料盘托架拉出时不同，所以不能收纳拉出中的晶圆或者料盘托架到料盘箱
中。(补充编码)
Remedy: MWU12i：打开机器本体的正面门，请用手确实除去拉出中的晶圆或者料盘托架。
------------------------------
Code: 8000F298
Display: 料盘箱转接器识别异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:搭载了不能识别的料盘箱转接器。(补充编码)
Remedy: MWU12i:(1):请切断电源，暂时拆除料盘箱，重新安装料盘箱转接器。请安装在传感器作出反应的位置上。
(2):请确认接通电源后，设定的料盘箱转接器和IO的状态一致。FUJI制12·8英寸通用料盘箱转接器的时候 输入
NY014:确认料盘箱转接器种类1=OFF 输入 NY015:确认料盘箱转接器种类2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种
类3=OFF 是FUJI制8·6英寸通用料盘箱转接器的时候 输入 NY014：确认料盘箱转接器种类1=ON 输入 NY015:确认
料盘箱转接器种类2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类3=OFF (3):料盘箱转接器和IO的ON/OFF状态不相符时
，请确认是否夹住异物、传感器是否有故障。
------------------------------
Code: 8000F29A
第 4369 页
Display: 不能收存晶圆或料盘的托架
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码)
Remedy: MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。
取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。
请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。
请继续运转机器。
------------------------------
Code: 8000F29B
Display: 晶圆stopper动作异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。(补充编码)
Remedy: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。1) 如果晶圆被拉出到了输送平台上，则请先按下紧急
停止按钮并打开正面门，然后再取出晶圆。2) 请确认气压是否正常。3)请使用EquipmentCheck并通过下列I/O使晶
圆stopper前进或后退并确认动作是否正常。前进时 输出 NY014：晶圆stopper前进=ON 输出 NY016：晶圆
stopper后退=OFF 输入NX00A：晶圆stopper前进端=ON 后退时 输出 NY016：晶圆stopper后退=ON 输出
NY014：晶圆stopper前进=OFF 输入NX00B：晶圆stopper后退=ON 如果气缸驱动部位有异物，可能会发生卡死现
象。4)如果采取1、2这两种措施后异常还是无法消除，则有可能是传感器有异常或气缸发生了故障。请根据情况进行调
整或更换。
------------------------------
Code: 8000F301
Display: PX轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F302
Display: PX轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PX轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F303
Display: 等待PX轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PX轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F304
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F305
Display: PX轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
第 4370 页
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F306
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F308
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F309
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F311
Display: PY轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F312
Display: PY轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PY轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F313
Display: 等待PY轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PY轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F314
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F315
Display: PY轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
第 4371 页