FUJI错误代码查询.pdf - 第4438页

Display: 检查指令失败 Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：由于未检测到检查工具的应答而中断处理。 检查结果：Canceled( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。 (2)请接通电源并重新检查对象晶圆生产日志。 (3)执行1、2后仍没有解决问题时，请重装软件。 (4)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。 请获取报错时的追溯数…

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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能在使用晶圆的过程中，变更了对象元件数据的元件尺寸。
无法正确进行检查。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认是否在生产过程中变更了Job内元件数据的元件尺寸。
如果元件尺寸没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像
一并提供给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7D7
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：未发现需要检查的晶圆生产日志。
可能是对应晶圆还未开始生产或晶圆生产日志已损坏。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)晶圆还未开始生产时，请开始生产需要检查的晶圆。
(2) 请查看存储器。(可用空间)。
(3) 不能解决时，请重新接通电源。
(4)通过以上步骤无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶
圆影像一并提供给本公司的售后服务。
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Code: 8000F7D8
Display: 裸芯片的误拾取
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能拾取了对象外的裸芯片而导致误贴装。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。　
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Code: 8000F7D9
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：对于同一个位置裸芯片，出现了意外的处理结果。
在对象晶圆中多次连续指定拾取开始点时，拾取方向有可能出错。
检查结果：Failed( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。
拾取方法没有错误时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的影像一并提供
给本公司的售后服务。　
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Code: 8000F7DA
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：未发现检查工具。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。
(2) 执行1后仍没有解决问题时，请重装软件。
(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DB
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Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于未检测到检查工具的应答而中断处理。
检查结果：Canceled( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。
(2)请接通电源并重新检查对象晶圆生产日志。
(3)执行1、2后仍没有解决问题时，请重装软件。
(4)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DC
Display: 内部处理异常(晶圆生产日志检查)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：强制结束晶圆生产日志检查。
检查结果：Canceled
由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。
(2)请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。
(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。
请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服
务。
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Code: 8000F7DD
Display: 影像处理对象元件搜索失败(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：以下的影像处理对象的搜索失败了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：(1)请从料盘箱中取出发生异常的料槽的托架。(2)请按下[START]按钮，重新开始运转。显示补
充向导画面，请实施更换指令。(3)请再次补充并指定吸取开始点。如果还是发生异常，则请收集出错时的跟踪数据并联
系售后服务人员。
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Code: 8000F7DE
Display: 发生了裸芯片的吸取错误。（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸取错误的裸芯片在吸取开始
位置指定画面上使用红色圆圈显示。(补充编码)
Remedy: MWU12i：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开始位置。
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Code: 8000F7DF
Display: 发生吸取错误的元件不能重试。（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为吸取的位置信息丢失，所以不能将晶圆图的状态变更为吸取错误。可能是吸取结果不能立即
反映到上传的晶圆图内。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生产时，请在异常解除后重新开
始运转。
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Code: 8000F7E0
Display: 晶圆图状态变更失败。（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能变更晶圆图状态。可能是影像处理与吸取结果不能立即反映到上传的晶圆图内。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生产时，请在异常解除后重新开
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始运转。
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Code: 8000F7E1
Display: 发生晶圆生产日志的检查超时
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆生产日志的检查未在规定时间内完成，因此动作中断。·机器和MWU12i的连接可能发生不
良。·晶圆生产日志的文件尺寸变大，检查所需的时间可能变长。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)请重新安装MWU12i。(2)请重新接通机器的电源。(3)请进行以下操作并重新开始运转。
(3.1)请选择[Manual]－[Manage Production]－[Inspect wafer production log]。(3.2)请点击[Inspect wafer
production log]执行晶圆生产日志检查，确认晶圆图表未发生偏移。(3.3)请点击[Inspect wafer production log]重置
晶圆生产日志。※检查异常时可能是图表偏移。请参照「晶圆图表核对工具运用手册」锁定发生偏移的位置。※晶圆生
产日志的重置需要将账号设置为「工程师」。晶圆生产日志检查的使用方法和检查异常的对应方法请参照「晶圆生产日
志机上检查运用手册」。
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Code: 8000F7F9
Display: 适用于2段顶起的MWU12i-FC无法供应没有翻转的元件。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在Job上将[Shape Data]-[Die]-[Do Flip]が设置为[No]。(补充编码)
Remedy: MWU12i：在Job上将所有使用元件的[Shape Data]-[Die]-[Do Flip]设置为[Yes]。
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Code: 8000F7FA
Display: 存在不能与扩展式载具同时使用的晶圆
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：使用扩展式载具时，不能同时供应只有晶圆框的晶圆以及其他晶圆载具。(补充编码 不能同时使用
的位号)(补充编码)
Remedy: MWU12i：·使用扩展式载具时，请更换为可以与只有晶圆框的晶圆或其他晶圆载具相同规格的扩展式载
(例:8→12英寸的方形扩展式载具)。或者，在Job上取消只有晶圆框的晶圆或其他晶圆载具的供料。·使用只有晶圆框
的晶圆或其他晶圆载具时，请将扩展式载具全部变更为只有晶圆框的晶圆或非扩展式载具的晶圆载具。然后，再通过
Job取消扩展式载具的供应。
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Code: 8000F7FD
Display: 内部处理异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：试图向内部数据中安装不正确的数值。( 补充编码的子码表示为错误的具体内容。１：数据超出最
小值。２：数据超出最大值。３：字符串数字超出上限。４：不存在数据项目。５：指数超出配列。)
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F7FE
Display: 内部处理异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：内部数据的取得失败了。( 补充编码的子码表示为错误的具体内容。４：不存在数据项目。５：指
数超出配列。)
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F7FF
Display: 内部处理异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：由于处理不正确而停止。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000FD01
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