FUJI错误代码查询.pdf - 第4395页

Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。 ------------------------------ Code: 8000F4DD Display: 分辨率测定定位点处理 数据异常（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：登录分辨率的测定定位点失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。 ---------------------------…

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Code: 8000F4D5
Display: 晶圆平台基准定位点处理 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：登录晶圆平台基准定位点失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4D6
Display: 影像显示区域的设定 控制系统异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：影像显示区域的设定失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4D7
Display: 影像显示区域的设定 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F4D8
Display: VP版本升级 控制系统异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：VP版本升级失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·获取VP版本升级信息失败·获取VP版
本升级信息失败(VENUS) ·清除VP版本升级进度失败 ·System版本升级失败 ·System＆Venys版本升级启动失败
·Venys版本升级失败 ·Venys版本升级启动失败·版本省极度欣喜的是顶失败·极度错误编码设定失败 关于具体内
容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4D9
Display: VP版本升级 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F4DA
Display: 系统启动 控制系统异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：VA的初始化失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4DB
Display: 系统启动 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F4DC
Display: 分辨率测定定位点处理 控制系统异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：处理分辨率测定定位点失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·读取影像失败 ·处理影像失
败 ·获取结果失败 ·显示结果失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4DD
Display: 分辨率测定定位点处理 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：登录分辨率的测定定位点失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
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Code: 8000F4E2
Display: 晶圆喂料机的alignment mark影像处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：对wafer table的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进行影像处理时出现失败。
异常可能是由以下原因所造成的。·mark受污染。·mark出现变形。·影像太亮或太暗。·mark超出扫描区域。(
补充编码 )
Remedy: MWU12i：请对wafer table的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进行查看。如果受到污染
，则请进行清扫。·如果影像太亮或太暗，则需要对光源进行调节。因此，请联系售后服务人员。
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Code: 8000F4E3
Display: alignment mark登录异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：alignment mark登录失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i： 请确认子错误编码。·请重启电源。如果还是发生错误，则有可能是MWU的相机出现了通信异
常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
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Code: 8000F4EA
Display: 料盘接合片定位点识别错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的影像处理失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。　因为污垢等影响不能进行识别时，请进行清扫。　影像处理错误的详细内容
，请确认子编码内容。
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Code: 8000F4EB
Display: 料盘接合片定位点影像处理数据异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的识别数据的登录失败了。　( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请重新启动机器进行修正处理。错误的详细内容，请确认子编码内容。
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Code: 8000F4EC
Display: 晶圆转接器定位点影像处理异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆转接器定位点影像处理失败了。
关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等的影响没能识别时请清扫。
关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
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Code: 8000F4ED
Display: 晶圆转接器定位点的数据登录异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆转接器定位点登录处理失败了。可认为是以下原因。
·数据初始化失败
·数据消去失败
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关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请再启机器后重新处理。
关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
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Code: 8000F4EE
Display: 元件旋转方向偏移量异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量超过公差值。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：晶圆整体倾斜时，为了使元件的倾斜度不超出公差范围，请调整补充晶圆的角度。
只有对象裸芯片倾斜时，为了从倾斜度较小的裸芯片开始拾取，请重新设置拾取开始点。
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Code: 8000F4F0
Display: 热补正定位点影像处理发生异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点的影像处理失败。关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。请在因污垢的影像无法识别影像时进行清扫。关于影像处理错误的详细情况请
确认子码的内容。
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Code: 8000F4F1
Display: 热补正定位点数据登录异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点登录处理失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在重启机器后重新处理。关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
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Code: 8000F501
Display: EX轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴没有进行伺服Wake
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F502
Display: 未实施EX轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F503
Display: EX轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F504
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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