FUJI错误代码查询.pdf - 第4399页

( 补充编码 ) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F521 Display: EZ1轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：EZ1轴没有进行伺服Wake。 ( 补充编码 ) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F522 Display: 未实施EZ1轴…

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Remedy:
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Code: 8000F513
Display: EY轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F514
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F515
Display: EY轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F516
Display: Dam不能排放（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EY轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F518
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F519
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F51A
Display: EY轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
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( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F521
Display: EZ1轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F522
Display: 未实施EZ1轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F523
Display: EZ1轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F524
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F525
Display: EZ1轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。( 补充编码 子错误编码 伺服系统出错信息 0019：过负荷（瞬时最大负荷）
0022：译码器数据警报 0077：非干涉控制ON )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。【子
错误编码77（非干涉控制ON）时】请用手上提EZ3轴。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错
时的跟踪数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F526
Display: Dam不能排放（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EZ1轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F528
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
第 4399 页
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F529
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ1轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F52A
Display: EZ1轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F531
Display: EZ2轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F532
Display: 未实施EZ2轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F533
Display: EZ2轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F534
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EZ2轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F535
Display: EZ2轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
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