FUJI错误代码查询.pdf - 第3892页

Cause: [ MWU固件(3) ] 晶圆供料托架的2D代码读取失败。 ( 补充编码 ) Remedy: 请确认晶圆供料托架的2D代码，如果脏了，请擦去。 ------------------------------ Code: 80009262 Display: 晶圆供料托架2D代码异常 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(3) ] 读取的晶圆供料托架的2D代码格式不正确。 ( 补充编码 子码 ０：晶圆尺…

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Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000925B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000925C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000925D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000925E
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000925F
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009260
Display: 晶圆尺寸匹配异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 小于JOB中指定的晶圆尺寸的晶圆被安装了。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认晶圆的尺寸。
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Code: 80009261
Display: 晶圆供料托架2D代码异常
Used by: NXT,AIM
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Cause: [ MWU固件(3) ] 晶圆供料托架的2D代码读取失败。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认晶圆供料托架的2D代码，如果脏了，请擦去。
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Code: 80009262
Display: 晶圆供料托架2D代码异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 读取的晶圆供料托架的2D代码格式不正确。
( 补充编码 子码
０：晶圆尺寸取得失败
１：扩张环内径取得失败 )
Remedy: 请确认晶圆供料托架的2D代码，请更换成正确的刻印的晶圆供料托架。
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Code: 80009263
Display: 晶圆晶片间距检出异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 不能检出晶圆上的晶片和晶片的分割间距。
( 补充编码 )
Remedy: １．请确认是否是能够生产的晶圆。
２．晶圆上的中心或者距离晶圆中心的１／３的位置、１／２的位置的上下左右的任意一个位置上如果不存在某些晶片
，
就不能检出分割间距。请更换成能够生产的晶圆。
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Code: 80009264
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009265
Display: 料盘托架识别标记读取异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 料盘托架识别标记读取失败。
( 补充编码 )
Remedy: １．请确认料盘托架是否被安装了。
２．请确认料盘托架识别标记是否脏了，请擦去污垢。
３．通过１，２的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009266
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009267
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
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Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009268
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009269
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 8000926A
Display: 晶圆元件补充异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 不能够完成晶圆元件的补充。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 )
Remedy: 由于没有完成补充对象元件的晶圆演示，因此不能够完成补充。请通过换线指令实施对象元件的晶圆演示。
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Code: 8000926B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 8000926C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 8000926D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
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