FUJI错误代码查询.pdf - 第3794页
------------------------------ Code: 80008BDA Display: 无法进行晶圆等级生产的设置。 Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i:指定了无法进行等级生产的条件。(补充编码) Remedy: MWU12i:指定了无法进行等级生产的条件。进行等级生产时,不能与以下的功能搭配使用。请放弃晶圆的 等级生产,或在Job上将以下的功能设为不使用。·不进行等级生产时,请将 [Pa…
只有在晶圆的单独翻转供应时才能使用该功能。(补充编码 )
Remedy: MWU12i:请将ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-
SupplyAngleCheck设置为No。
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Code: 80008BD4
Display: 封装数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:PackageData-PackageInformation-WefarSheetThickness 的数据值在 0.000~1.000 的范围
外。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请将晶圆片的厚度设定在指定范围内后,重新传送Job。
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Code: 80008BD5
Display: 封装数据范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:PackageData-PackageInformation-GripRingInsideDiameter 的数据值在「 0.000 或者
6.350~350.000 」的范围外。
※输入了 「0.000」 或者「比夹环大的数值」时,使用以英寸值表示的默认值内径。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请在指定值范围内设定夹环内径后,重新传送Job。
不同晶圆尺寸的夹环大小如下。
12inch:335.0mm
8inch:225.0mm
6inch:169.9mm
5inch:169.9mm
4inch:137.0mm
3inch:115.0mm
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Code: 80008BD6
Display: 晶圆方向的指定值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:PackageData-PackageProcess-UseWaferMap为No、Template时, PartData-Property-
WaferDirection 只能指定为0deg。 ( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:PackageData-PackageProcess-UseWaferMap为 No、Template时,请将PartData-
Property-WaferDirection指定为0deg。使用晶圆方向时,请在PackageData-PackageProcess-UseWaferMap中指
定VendorMap。详细内容请参照晶圆运用手册。
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Code: 80008BD8
Display: 影像动作类型设定中无法使用"Custom"
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Pick Up Using TVR-Vision-Sub
Vision System-Vision Process Pattern 中设定了"Custom"。MWU12i中不支持"Custom"动作模式,因此无法使用
。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:将Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Pick Up Using TVR-Vision-Sub
Vision System-Vision Provess Pattern设定为"PP-First"或"Auto"。
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Code: 80008BD9
Display: 元件外形数据值异常:Perform Vision Processing to Ref. 裸芯片
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-Ref. Die-Perform Vision Processing to Ref. Die不
在有效范围内。有效范围:0~1。但0:No 1:Yes( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:该错误发生概率非常低。显示此错误时麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,并与弊公司客服中心
联系。
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Code: 80008BDA
Display: 无法进行晶圆等级生产的设置。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:指定了无法进行等级生产的条件。(补充编码)
Remedy: MWU12i:指定了无法进行等级生产的条件。进行等级生产时,不能与以下的功能搭配使用。请放弃晶圆的
等级生产,或在Job上将以下的功能设为不使用。·不进行等级生产时,请将 [Part Data]-[Wafer Rank]设为"No"。
·进行等级生产时,不能使用以下功能。显示子码的详细内容。子码1:无法进行多区(Multi Blocks)的生产。请将
[Package Data]-[Packaging Type]变更为"Multi Blocks"以外的选项。子码2:生产时影像处理追从功能不能与等级
顺序生产并用。请将[Part Data]-[Rank Order]变更为"Do not set";或将[Package Data]-[Do
FollowingVisionProcessing]变更为"No"。子码3:不能使用「参照附近的参照裸芯片时的影像处理追从」。请将
[ShapeData]-[ShapeProcess]-[Die]-[Perform Vision Processing to Ref. Die]设置为 "No"。详细内容请参看[参照点
运用手册]。
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Code: 80008BDB
Display: 无法参照旁边的参考裸芯片
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:使用旁边的参考裸芯片的信息不足,因此无法使用旁边的参考裸芯片。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:PackageData-PackageProcess-UseWaferMap为NO时无法使用旁边的参考裸芯片。
ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-Ref. 请将Die Check Mode指定为"No Check" 。参考旁边的参考裸芯片时
请将PackageData-PackageProcess-UseWaferMap 指定为"Vendor Map"。另外请在ShapeData-ShapeProcess-
Die-Generic-Ref Die中登录使用的参考裸芯片的数据。详细内容请参照参考运用手册。
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Code: 80008BDC
Display: 参照旁边的参考裸芯片中不能使用"Die Block Changes"。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-Ref.DieCheckMode 中设定了 "Die Block
Changes"。因未对应所以无法使用。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请将ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-Ref.DieCheckMode指定为 "Die Block
Changes"以外的项目。不参照旁边的参考裸芯片时请指定为 "No Check" 。详细内容请参照参考运用手册。
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Code: 80008BDD
Display: Rank生产指定值异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:PackageData-PackageInfomation-PackagingType为Tray时,PartData-Property-
WaferRank只能指定为NO。 另外,PackageData-PackageProcess-UseWaferMap为No或Template 时只能指定为
No。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:PackageData-PackageInfomation-PackagingType为Tray或PackageData-
PackageProcess-UseWaferMap为No或Template时,请将PartData-Property-WaferRank指定为No。进行Rank生
产时请将PackageData-PackageInfomation-PackagingType指定为Wafer、将PackageData-PackageProcess-
UseWaferMap指定为VendorMap。详细内容请参照晶圆Rank生产运用手册。
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Code: 80008BDE
Display: Collet规格数据异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:Collet规格数据的ManualPosSet中设定了不正确的数据。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请使用ColletDataEditor将PodData - ManualPosSet的项目设为"Yes"或"No"。详细内容请参
照ColletDataEditor步骤书。
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Code: 80008BDF
Display: 封装数据范围外异常
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:PackageData-PackageInformation-Assign pickup range 的数据值超过了 0~1 的范围。
(设置值既不是No,也不是Yes)( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1. 对于对象数据项目(Assign pickup range),请在主电脑上进行确认·输入修正值后重新传送
Job。
2. 不能解决时,请获取发生错误时的跟踪数据和Job,并联系本公司的代理店或售后服务人员。
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Code: 80008BE0
Display: Multi Block设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前的设置是无法执行“Multi Block”生产的设置(补充编码 子码 1:无法空转。请变更为通常
生产或将[Packaging Type]项目([Package Data]-[Packaging Type])的设置变更为[Multi Blocks]以外的状态。子码
3:无法使用验证功能。请选择OFF或将[Packaging Type]项目([Package Data]-[Packaging Type])的设置变更为
[Multi Blocks]以外的状态。)
Remedy: MWU12i:请先确认子码,然后再修改Job或变更机器功能设定。
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Code: 80008BE1
Display: multi block位置设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:multi block的block吸取位置设置重复(补充编码)
Remedy: MWU12i:请确认JOB的[Package Data]-[Pickup block position,Block ID position的]登录位置。修正后
,请重新传送JOB。
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Code: 80008BE2
Display: multi block ID位置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:multi block的二维码读取位置设置重复(补充编码)
Remedy: MWU12i:请打开JOB,确认JOB的[Package Data]-[Pickup block position,Block ID position的]登录位
置。修正后,请重新传送JOB。
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Code: 80008BE3
Display: multi block设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:multi block无法用于RANK生产(补充编码)
Remedy: MWU12i:请将[Part Data]-[Wafer Rank]设定为"No"或者将[Package Data]-[Packaging Type]变更为「
Multi Blocks」以外。
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Code: 80008BE4
Display: multi block设定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:multi block无法使用吸取范围指定功能(补充编码)
Remedy: MWU12i:请将[Package Data]-[Assign pickup range]设定为"No"或者将[Package Data]-[Packaging
Type]变更为「Multi Blocks」以外。
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Code: 80008BE5
Display: multi block ID位置异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:读取二维码时可能会与夹紧环发生碰撞(补充编码)
Remedy: MWU12i:如果粘贴二维码的位置是晶圆环,则无法使用高度大于6mm的夹紧环。请将二维码贴到膜上或
者改用高度不超过6mm的夹紧环。变更粘贴位置时,请打开JOB,修正[Package Data]-[Pickup block
position,Block ID position],重新传送JOB。
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