FUJI错误代码查询.pdf - 第4750页

Cause: 影像处理装置（元件相机或者定位点相机）发生了异常。 ·影像处理装置的版本不一致 ·影像处理装置 摄影准备指示异常 ·影像处理装置 摄影指示异常 ·影像处理装置 等待曝光结束异常 ·影像处理装置 影像处理指示异常 ( 补充编码 ) Remedy: (1)请确认触发器线。 (2)请确认版本。 (3)请进行影像处理电路板。 详细请参考单元错误编码。 ------------------------------ Code: 922…

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Code: 91FC0000
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：对同样位置的裸芯片，找到了意外的处理结果。对象的晶圆经过几次指定吸取开始点时，指定开始
点时有搞错吸取方向的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。没有搞错吸取方法时
，请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FD0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查Tool。( 补充编码 )
Remedy: NXT-H：(1)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。。(2) 没有解决时，请重新安装软件。
(3)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本
公司的售后服务人员。
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Code: 91FE0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：因为没有来自检查Tool的应答而中断了处理。( 补充编码 料槽号码[1～25] ),NXT-
H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。
(3) 没有解决时，请重新安装软件。(4)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请收
集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。
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Code: 92200000
Display:
Used by:
Cause:
Remedy:
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Code: 92210000
Display: 预想之外的异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 种类取得、标记确认、固有值取得·设定等的异常，
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 92220000
Display: XY机械手异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 要移动ＸＹ机械手时发生了异常。
·伺服异常，
·Xs位置异常
( 补充编码 )
Remedy: 在要移动ＸＹ机械手时发生了异常，请参考单元错误编码。
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Code: 92230000
Display: 影像处理装置异常
Used by: NXT,AIM
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Cause: 影像处理装置（元件相机或者定位点相机）发生了异常。
·影像处理装置的版本不一致
·影像处理装置 摄影准备指示异常
·影像处理装置 摄影指示异常
·影像处理装置 等待曝光结束异常
·影像处理装置 影像处理指示异常
( 补充编码 )
Remedy: (1)请确认触发器线。
(2)请确认版本。
(3)请进行影像处理电路板。
详细请参考单元错误编码。
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Code: 92240000
Display: 贴装工作头异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 要移动贴装工作头时发生了异常。
可以考虑是以下原因。
·伺服异常
·Z轴移动范围异常
·初期动作Ｚ轴高度异常
·吸嘴落下异常，吸嘴贴装不正确异常
( 补充编码 )
Remedy: 因在要移动贴装工作头时发生了异常，请参考单元错误编码。
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Code: 92250000
Display: 影像处理失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 由元件相机或者定位点相机的影像处理结果异常。
( 补充编码 影像处理装置错误编码 )
Remedy: ·相机上的玻璃或定位点、吸嘴是否有污垢
·相机灯是否点亮
·摄影区域上是否有异物落下，详细请在单元错误编码上确认。
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Code: 92260000
Display: 超过自动最终修正公差值
Used by: NXT,AIM
Cause: 进行最终修正测定的结果，结果超过公差值(200um)。
( 补充编码 )
Remedy: ·在将元件相机的玻璃定位点进行影像处理时，是否识别了错误的定位点或垃圾
·相机的光源是否充分明亮
·吸嘴前端是否弯曲
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Code: 92270000
Display: 没有安装治具吸嘴
Used by: NXT,AIM
Cause: 在本测定中有必要有冶具吸嘴，由于某种原因冶具吸嘴没有安装。
( 补充编码 )
Remedy: ·在贴装工作头上是否装有吸嘴
·吸嘴是否落下
·贴装工作头的吸嘴识别I/O是否正确地反应
·装有吸嘴时，吸嘴规格是否有问题
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Code: 92280000
Display: 吸嘴影像处理发生异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在元件相机上进行吸嘴影像处理时，影像处理结果产生异常。（没有发现、轮廓缺损、跟踪数据异常等）
( 补充编码 影像处理装置错误编码 )
Remedy: ·请确认影像、轮廓缺损或跟踪数据是否有问题。
·请拉出模组、进行吸嘴以及相机玻璃的请扫。
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Code: 92290000
Display: 读取测定对象定位点信息文件失败
Used by: NXT,AIM
Cause: 自动最终修正的测定对象定位点信息文件的读取失败。在没有文件时或破损时发生这个异常。
( 补充编码 )
Remedy: ·确认文件的地方
\Fuji\System\Data\Spec\AutoFinalPos.txt
·确认文件的内容
PosA， 1
PosB， 0
PosC， 1
PosD， 0
（0为测定对象以外、1为测定对象）
·确认与基座的通信状态
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Code: 92300000
Display: 内部处理异常( 生产的停止 )
Used by: NXT,AIM
Cause: 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 92310000
Display: 低冲击取件＆低冲击贴装紧急停止检测
Used by: NXT,AIM
Cause: 低冲击取件＆低冲击贴装动作中检测了紧急停止。仅Ｚ轴上升停止。因为时间关系不进行ＸＳ轴的退避。( 补
充编码 ) NXT-H：低冲击取件＆低冲击贴装动作中检测了紧急停止。仅Ｚ轴上升停止。(补充编码)
Remedy: 因为不是异常，请在此状态下重新开始运转。
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Code: 92320000
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 在自动运转中发生了内部处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 92330000
Display: 贴装点数不一致
Used by: NXT,AIM
Cause: 因为在Job指定的贴装点数和实际贴装的贴装点数不相同，错误停止了。( 补充编码 X0Y0ZZZZ X:通道信息
1:通道1 2:通道2 3:通道3 Y:Job的贴装点数和实际的贴装点数的差的正、负 0:负 1:正 ZZZZ:显示Job的贴装点数和实
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