FUJI错误代码查询.pdf - 第4423页
3.请在补充向导画面上实行取出指令。 4.上述的任何一种方法都无法消除异常时,请实行手动指令的[Manage production]-[Clear wafer map],重启机器。 此外,[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。 ------------------------------ Code: 8000F760 Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机) Used by: NXT,AIM Ca…
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:试图打开超出限定数量的文件。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命
名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F759
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:试图重复打开同一个文件。( 补充编码 的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75A
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:没有目录。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:(1)请升级对应 MWU辅助软件的版本。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常,请收集发生
错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75B
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:使用未声明的标识符进行了文件操作。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入
3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75C
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:使用了错误的文件标识符。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75D
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:读取大小超过128k字节。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75E
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:指定的读取大小不能读取所有数据。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入
3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F75F
Display: 晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:想要变更名称时,在同一路径中已存在相同名称的文件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请按下[ReadyOn]或者[COMP]键重新开始运转。
2.从机器中取出晶圆使机器重新开始运转,出现补充向导后,请再次安装好晶圆后使机器重新开始运转。
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3.请在补充向导画面上实行取出指令。
4.上述的任何一种方法都无法消除异常时,请实行手动指令的[Manage production]-[Clear wafer map],重启机器。
此外,[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。
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Code: 8000F760
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:指定了未定义的打开模式。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F761
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:写入数据的大小不正确。( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F762
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:由于数据大小超出了基座上寄存器的磁盘容量,因此不能写入。( 补充编码的子码表示为存取类型
。1:读取 2:写入 3:重命名 )
Remedy: MWU12i:(1)请删除基座上的寄存器的不要文件。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常,请收集发生
错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F763
Display: 晶圆图文件存取失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:未完成主电脑与机器间的初始设定( 补充编码的子码表示为存取类型。1:读取 2:写入 3:重
命名 )
Remedy: MWU12i:(1) 请重新接通电源。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常,请收集发生错误时的跟踪数据
并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F764
Display: 晶圆图转换失败(导入)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:导入晶圆图(下载)时,转换失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:子码表示发生异常的料槽号码。
请按照以下的步骤排除故障的原因。
1.请确认指定料槽的晶圆图名称。2.请通过机器画面左端的Launcher窗口启动晶圆图转换器(WafermapConverter)。
2-1.[Setting]-[Upload Setting]-[Upload Distination]的设置为[DuplicatiMap]时,[DuplicatiMapPath]所设置文件
夹内的晶圆图是对象晶圆图。2-2.上述的文件夹内没有晶圆图或设置为[DuplicateMap]以外的选项时,既定的文件夹
内的晶圆图为对象晶圆图。3.请导入对象晶圆图。4.画面上将显示详细的异常内容,请进行对应处理。
按照上述操作无法解除异常时,请获取报错时的追溯数据并联系本公司的代理店或售后服务人员。
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Code: 8000F765
Display: 晶圆图转换失败(导出)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:导出晶圆图时(上传)时,转换失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:子码表示发生异常的料槽号码。
请按照以下的步骤排除故障的原因。
1.请确认指定料槽的晶圆图名称。2.请通过机器画面左端的Launcher窗口启动晶圆图转换器(WafermapConverter)。
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2-1.[Setting]-[Upload Setting]-[Upload Distination]设置为[DuplicatiMap]时,[DuplicatiMapPath]所设置的文件
夹为输出路径。2-2.没有设置为[DuplicateMap]时,指定的文件夹为输出路径。3.请导出转换失败的晶圆图。4.画面上
将显示详细的异常内容,请进行对应处理。
按照上述操作无法解除异常时,请获取报错时的追溯数据并联系本公司的代理店或售后服务人员。
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Code: 8000F769
Display: 无法实施版本更新后SRAM的恢复(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU版本更新之后,备份文件不正确。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请先确认序列号,传送辅助软件内的固有值备份文件。2.请重新接通电源。采取上述手段
之后仍然无法解除异常时,请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F76A
Display: SRAM恢复SRAM领域异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU启动时,SRAM被破坏。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请先重新打开电源然后再实行。2.如果通过步骤1仍然无法消除该异常,请收集发生错误
时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F76B
Display: SRAM备份/列表文件分析失败(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU的SRAM备份数据的退避/展开时,文件的分析失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请先重新打开电源然后再实行。2.如果通过步骤1仍然无法消除该异常,请收集发生错误
时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F76C
Display: SRAM备份/列表数据的分析异常(用于DEBUG的错误编码)(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:在MWU的SRAM备份数据的退避/展开中数据不存在于固件内的定义表内。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:1.请先重新打开电源然后再实行。2.如果通过步骤1仍然无法消除该异常,请收集发生错误
时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F76D
Display: 没有版本升级的文件(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:没有MWU版本升级所必要的文件。(补充编码的子码表示发生了错误的文件 。1:构成文件
2:固件文件 3:SRAM转储差异文件)
Remedy: MWU12i:1.请在实行了对应了MWU的主机应用元件的安装之后,再进行MWU的版本更新。2.采取
了1的措施之后仍然发生该错误时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F76E
Display: 版本升级文件读取异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:读取MWU的版本升级文件失败了。(补充编码的子码表示发生了错误的文件 。1:构成文件
2:固件文件 3:SRAM转储差异文件)
Remedy: MWU12i:1.请在实行了对应了MWU的主机应用元件的安装之后,再进行MWU的版本更新。2.采取
了1的措施之后仍然发生该错误时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F76F
Display: 关闭版本升级文件异(晶圆供料机)
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