FUJI错误代码查询.pdf - 第4369页

Cause: MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认(NX01C)OFF时发生。(补充编码) Remedy: MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。 ------------------------------ Code: 8000F293 Display: 无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: NXT：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。(…

100%1 / 5282
Cause: MWU12i：晶圆挡块后退失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。
后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON
输出 NY014：晶圆挡块后退=OFF
输入NX00B：晶圆挡块后退=ON
前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON
输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF
输入 NX00A：晶圆挡块后退=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
------------------------------
Code: 8000F259
Display: 料箱灯罩监控开始异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩无法受光。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认灯罩的传感器部分。
·CPU I/O输入的Pin号码DX003
投光状态：DX003设置为ON
请按照以下顺序进行确认。
1.请确认是否有遮光物。
2.有可能因受外部光线的干扰而无法受光。请确认传感器部分。
3.有可能是传感器的调试不良。请调试投光与受光位置。
4.未投光时，有可能是传感器发生故请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。
------------------------------
Code: 8000F25A
Display: 料箱灯罩监控停止异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩监视无法停止。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为有可能是受到外部光线的干扰，所以请确认灯罩的传感器部分。
·CPU I/O输入的Pin号码DX003
投光停止状态：DX003设置为OFF
既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤
，与本公司客服中心联系障。
------------------------------
Code: 8000F290
Display: 无料盘箱异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有安装料盘箱。(补充编码)
Remedy: MWU12i：１．请安装料盘箱，重新开始生产。2.在1不能异常恢复时，维修保养人员以上的作业者请确认
料盘箱。
------------------------------
Code: 8000F291
Display: 料盘箱落座OFF(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱在升降动作中脱落了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请安装晶圆供料装置的料盘箱。
------------------------------
Code: 8000F292
Display: 料盘箱适配器异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
第 4368 页
Cause: MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认(NX01C)OFF时发生。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。
------------------------------
Code: 8000F293
Display: 无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。( 补充编码 子码是需要清除的料槽的编号。)
Remedy: NXT：１．请按紧急停止按钮后打开晶圆供应装置的料盘箱门。２．请从料盘箱中取出问题晶圆或料盘后再
重新开始。
------------------------------
Code: 8000F294
Display: 变更晶圆或者料盘收存处料槽(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为本来的料槽没有空，拉出的晶圆或者料盘收存在别的料槽了。( 补充编码 子码是除去对象的
料槽号码。)
Remedy: MWU12i：１．请按下紧急停止，打开晶圆供料装置的料盘箱门。２．请从料盘箱除去对象的晶圆或者料盘
，重新开始。３．请在补充画面，与Job的设定一致，重新设定晶圆或者料盘。
------------------------------
Code: 8000F295
Display: 料盘箱松开状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为料盘箱没有锁定，所以不能开始运转。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请打开晶圆供料装置的料盘箱门，进行料盘箱底面前的锁定后固定料盘箱。锁定时请确认传感器
的状态[NX01D]。
------------------------------
Code: 8000F296
Display: 晶圆适配器识别异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：识别了没有登录的晶圆适配器。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认在晶圆适配器的适配器识别块上是否有脏或者破损。接连不能识别时，请更换晶圆适配器
。
------------------------------
Code: 8000F297
Display: 不能收存拉出晶圆或者料盘托架(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为料盘箱与晶圆或者料盘托架拉出时不同，所以不能收纳拉出中的晶圆或者料盘托架到料盘箱
中。(补充编码)
Remedy: MWU12i：打开机器本体的正面门，请用手确实除去拉出中的晶圆或者料盘托架。
------------------------------
Code: 8000F298
Display: 料盘箱转接器识别异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:搭载了不能识别的料盘箱转接器。(补充编码)
Remedy: MWU12i:(1):请切断电源，暂时拆除料盘箱，重新安装料盘箱转接器。请安装在传感器作出反应的位置上。
(2):请确认接通电源后，设定的料盘箱转接器和IO的状态一致。FUJI制12·8英寸通用料盘箱转接器的时候 输入
NY014:确认料盘箱转接器种类1=OFF 输入 NY015:确认料盘箱转接器种类2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种
类3=OFF 是FUJI制8·6英寸通用料盘箱转接器的时候 输入 NY014：确认料盘箱转接器种类1=ON 输入 NY015:确认
料盘箱转接器种类2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类3=OFF (3):料盘箱转接器和IO的ON/OFF状态不相符时
，请确认是否夹住异物、传感器是否有故障。
------------------------------
Code: 8000F29A
第 4369 页
Display: 不能收存晶圆或料盘的托架
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码)
Remedy: MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。
取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。
请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。
请继续运转机器。
------------------------------
Code: 8000F29B
Display: 晶圆stopper动作异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。(补充编码)
Remedy: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。1) 如果晶圆被拉出到了输送平台上，则请先按下紧急
停止按钮并打开正面门，然后再取出晶圆。2) 请确认气压是否正常。3)请使用EquipmentCheck并通过下列I/O使晶
圆stopper前进或后退并确认动作是否正常。前进时 输出 NY014：晶圆stopper前进=ON 输出 NY016：晶圆
stopper后退=OFF 输入NX00A：晶圆stopper前进端=ON 后退时 输出 NY016：晶圆stopper后退=ON 输出
NY014：晶圆stopper前进=OFF 输入NX00B：晶圆stopper后退=ON 如果气缸驱动部位有异物，可能会发生卡死现
象。4)如果采取1、2这两种措施后异常还是无法消除，则有可能是传感器有异常或气缸发生了故障。请根据情况进行调
整或更换。
------------------------------
Code: 8000F301
Display: PX轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F302
Display: PX轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PX轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F303
Display: 等待PX轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PX轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F304
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F305
Display: PX轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
第 4370 页