FUJI错误代码查询.pdf - 第4382页

Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 8000F422 Display: 吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端…

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Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41A
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41B
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41C
Display: 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41D
Display: PR轴与PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴、PZ2轴的退至安全位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41E
Display: PZ2轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PZ2轴的退避位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F41F
Display: PZ晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F420
Display: PZ晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴、PZ2轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F421
Display: PR轴退避位置异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不存在PR轴的退避位置。( 补充编码 )
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Remedy: MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F422
Display: 吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端（NX04B）是否为打开状态。２．如果通过步骤１仍然无
法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F423
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴更换器或者顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认吸嘴更换器下降端(NX041)或者顶起筒更换器下降端(NX051)是否为关闭状态。
２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F424
Display: 晶圆工作头翻转判定传感器异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆工作头向上确认或者向下确认的传感器发生了异常。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认晶圆工作头向上确认(NX020)与晶圆工作台头向下确认(NX021)是否为同时启动的状态。
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Code: 8000F425
Display: 顶起筒更换器上升异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认顶起筒上升端(NX050)是否是打开状态。２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常
，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F426
Display: 吸嘴落下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。
吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码 子错误编码的下位4byte上显示检测出吸嘴落下的吸嘴头号码。
例1）子错误编码：　0x00000001
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
例2）子错误编码：　0x00000013
　　·吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　·吸嘴头３上 检测出吸嘴落下
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
子错误编码的上位4byte上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。
例３）子错误编码：　0x00010001
　　· 吸嘴头１上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
例４）子错误编码：　0x00130001
　　· 吸嘴头上 检测出吸嘴落下
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
　　· 吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取)
Remedy: MWU12i：请取出落下的吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
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取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下
的元件并取出。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F427
Display: 吸嘴错误装填（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴被错误装填了。
·可能吸嘴直接被装填在晶圆工作头上。
·可能吸嘴返回时失败了。( 补充编码 子错误编码的下位４byte上显示错误装填吸嘴的吸嘴头号码。
例1）
子错误编码：　0x00000001
　·吸嘴头１上 检测出吸嘴的错误装填
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
例2）
子错误编码：　0x00000013
　·吸嘴头１上 检测出吸嘴的错误装填
　·吸嘴头３上 检测出吸嘴的错误装填
　　　（没有吸取了元件的吸嘴头）
子错误编码的上位4byte上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。
例３）子错误编码：　0x00010002
　　· 吸嘴头２上 检测出吸嘴的错误装填
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
例４）子错误编码：　0x00130002
　　· 吸嘴头２上 检测出吸嘴的错误装填
　　· 吸嘴头1的吸嘴进行了元件吸取
　　· 吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取
)
Remedy: MWU12i：请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照Job的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。
取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。
子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/WaferHeadUpDirection.gif">
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Code: 8000F428
Display: Reference位置偏移异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是Reference的影像处理失败或是Reference偏移量超出公差值。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认读取Reference时的影像。
1）发生Reference影像处理异常时，用正常的定位点无法进行识别时，请修正用于识别的数据。
·使用正确的识别数据却发生错误时，请变更Job，使扫描范围缩到最小。
2）如果视场内没有定位点，则有可能是晶圆台上的晶圆固定位置恶化。
·在拉出晶圆时请清扫晶圆台上晶圆移动面。
·如果导致异常的原因只是定位点轻度偏移视场，请通过Job将扫描范围扩大到裸芯片的50%左右。
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Code: 8000F429
Display: 吸取位置偏移异常（晶圆拾取机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：设置的吸取位置与实际吸取位置的差超过公差值。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请收集出错时的可追踪数据以及吸取时的影像数据并联系本公司的售后服务人员。
获取追踪数据后重新指定吸取开始位置并重新启动机器。
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