FUJI错误代码查询.pdf - 第4408页

Remedy: ------------------------------ Code: 8000F61A Display: TQ轴伺服行程异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码 ( 补充编码 ) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F621 Display: SZ轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置） Used…

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Code: 8000F612
Display: 未实施TQ轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TQ轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F613
Display: TQ轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TQ轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F614
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TQ轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F615
Display: TQ轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F616
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与TQ轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F618
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TQ轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F619
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TQ轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
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Remedy:
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Code: 8000F61A
Display: TQ轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F621
Display: SZ轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F622
Display: 未实施SZ轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F623
Display: SZ轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F624
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F625
Display: SZ轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F626
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与SZ轴相关的Dam排放
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( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F627
Display: 晶圆托架·晶圆识别检测异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆托架·晶圆的高度测定或者识别失败了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．为了消除误检测，请取出在生产中不使用的晶圆托架后重新开始运转。2.在1.不能改善的时
候，请临时取下晶圆料盘箱，再次安装后重新开始运转。由上述对策不能解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪
数据并与敝公司的Support联系。
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Code: 8000F628
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F629
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F62A
Display: SZ轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F650
Display: 晶圆夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F651
Display: 晶圆放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F652
Display: 晶圆X方向定位夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：托盘的定位夹紧或者托盘有无确认失败了。请将晶圆托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码
晶圆拉出状态时，认为是晶圆托盘左右的料槽安装错误。请将晶圆托盘正确可靠地返回到料盘箱后，重启运转。 )
Remedy: MWU12i：（１）晶圆托盘处于拉出状态时
（１-１）请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
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