FUJI错误代码查询.pdf - 第4365页

Display: 滑动转矩设定文件 增益号码范围错误 Used by: NXT,AIM Cause: 滑动转矩设定文件中所设定的前进路线或返回路线的增益号码不是正确的数值。( 补充编码 ) Remedy: 请将滑动转矩设定文件的前进路线或返回路线的增益号码设定为正确的数值。 ------------------------------ Code: 8000F15F Display: 滑动转矩设定文件 动作计时范围错误 Used by: …

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06000800 搬运高度上确认传感器
06000801 搬运高度上确认传感器
06000A00 搬运高度下确认传感器
06000A01 搬运高度下确认传感器
06000B00 ＩＰＳ背景上升确认传感器
06000B01 ＩＰＳ背景上升确认传感器
06000C00 升降杆返回确认传感器
06000C01 升降杆返回确认传感器
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Code: 8000F158
Display: IO检查　SA确认错误
Used by: NXT,AIM
Cause: SA7的确认失败。( 补充编码 )
Remedy: 请确认工作头电源和连接。
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Code: 8000F159
Display: 传感器状态错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 传感器状态没有满足动作检查的执行条件。( 补充编码 )
Remedy: 请确认符合以下子码的传感器和安装位置。
00000003 吸嘴下降杆OFF检测
00000004 吸嘴有无传感器
00000009 杆返回确认传感器
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Code: 8000F15A
Display: 工作头调整治具内部错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 发生了工作头调整治具的内部错误。( 补充编码 )
Remedy: (1) 请重新接通电源。
(2) 通过上述对策没有解决时，请收集发生错误时的跟踪数据与本公司Support联系。
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Code: 8000F15B
Display: 自变量错误
Used by: NXT,AIM
Cause: NULL指针被分配给了自变量。( 补充编码 )
Remedy: (1) 请重新接通电源。
(2) 通过上述对策没有解决时，请收集发生错误时的跟踪数据与本公司Support联系。
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Code: 8000F15C
Display: 滑动转矩设定文件　速度范围错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 滑动转矩设定文件中所设定的前进路线或返回路线的速度不是正确的数值。( 补充编码 )
Remedy: 请将滑动转矩设定文件的前进路线或返回路线的速度设定为正确的数值。
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Code: 8000F15D
Display: 滑动转矩设定文件　周期次数范围错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 滑动转矩设定文件中所设定的周期次数不是正确的数值。( 补充编码 )
Remedy: 请将滑动转矩设定文件的周期次数设定为正确的数值。
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Code: 8000F15E
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Display: 滑动转矩设定文件　增益号码范围错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 滑动转矩设定文件中所设定的前进路线或返回路线的增益号码不是正确的数值。( 补充编码 )
Remedy: 请将滑动转矩设定文件的前进路线或返回路线的增益号码设定为正确的数值。
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Code: 8000F15F
Display: 滑动转矩设定文件　动作计时范围错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 滑动转矩设定文件中所设定的动作计时不是正确的数值。( 补充编码 )
Remedy: 请将滑动转矩设定文件的动作计时设定为正确的数值。
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Code: 8000F160
Display: 发生警报
Used by: NXT,AIM
Cause: 发生了警报。( 补充编码 )
Remedy: (1)：请解除异常，重新开始。
(2)：使用(1)的方法不能解除异常时，请收集发生错误时的跟踪数据。
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Code: 8000F161
Display: 发生控制器错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 发生了控制器错误。( 补充编码 )
Remedy: (1)：请解除异常，重新开始。
(2)：使用(1)的方法不能解除异常时，请收集发生错误时的跟踪数据。
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Code: 8000F201
Display: TZ轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F202
Display: TZ轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在TZ轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F203
Display: 等待TZ轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待TZ轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F204
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F205
Display: TZ轴错误(晶圆供料装置)
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F206
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有关TZ轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F207
Display: 料盘高度测定失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：测定数据有问题 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F208
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F209
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F250
Display: 矫正推杆前进异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：矫正推杆前进失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F251
Display: 矫正推杆后退异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：矫正推杆后退失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F252
Display: 料盘箱夹紧异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱的夹紧失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F253
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