FUJI错误代码查询.pdf - 第3225页

Remedy: NXT-H：请正确安装吸嘴置放台。 ------------------------------ Code: 8000391E Display: 基座CPU箱温度异常 Used by: NXT,AIM Cause: NXT：基座CPU箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 ) Remedy: NXT：请确认基座冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「7.16 更换冷却风 扇」章节）如果冷却风扇…

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骤解除异常。
１．可能是空料盘的吸取位置不安定。请进行吸取位置的调整。请将空料盘的吸取位置指定在没有开孔的凹槽位置上。
２．可能是料盘吸取器的气源压力不足。请进行气源压力的确认。
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Code: 80003916
Display: 发生了Ｚ轴高度联锁
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 在Ｚ轴下降状态下想要进行X,Y,XS和R轴的动作。因为存在吸嘴折断的可能性而停止了。
( 补充编码 )
Remedy: １．请确认吸嘴有无破损。
２．对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
３．按下ReadyOn后，请再次开始。
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Code: 80003917
Display: Y轴联锁异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] Y轴联锁确认传感器进行了检测。
( 补充编码 )
Remedy: 请将机械手向Y方向离开。
因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向X方向离开后再向Y方向离开。
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Code: 80003918
Display: Y轴联锁异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 异常监视 ] 轴动作中Y轴联锁确认传感器进行了检测。
( 补充编码 )
Remedy: 请将机械手向Y方向离开。
因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向X方向离开后再向Y方向离开。
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Code: 80003919
Display: MWU12i的料盘箱门处于敞开状态
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的料盘箱门处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请关闭MWU12i的料盘箱门。
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Code: 8000391A
Display: MWU12i的滑动式盖罩安装不良。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的滑动式盖罩安装不良，因此无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请正确安装MWU12i的滑动式盖罩。
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Code: 8000391B
Display: MWU12i的tower slide处于敞开状态
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于MWU12i的tower slide处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编码)。
Remedy: NXT-H：请关闭MWU12i的tower slide。
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Code: 8000391C
Display: 吸嘴置放台安装不良。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：由于吸嘴置放台安装不良，所以无法启动生产( 补充编码)。
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Remedy: NXT-H：请正确安装吸嘴置放台。
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Code: 8000391E
Display: 基座CPU箱温度异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：基座CPU箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认基座冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「7.16 更换冷却风
扇」章节）如果冷却风扇工作正常，则请更换CPU箱。
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Code: 8000391F
Display: 模组CPU箱温度异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：模组CPU箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认模组冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「7.16 更换冷却风
扇」章节）另外，请清洁模组内的过滤器（关于详细内容，请参考NXTⅢ机械手册中的「5.7.4 模组内过滤器的清扫」
章节）如果采取以上措施之后还是无法消除温度异常，则请更换CPU箱。
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Code: 80003920
Display: 请搭载尺寸与料站数合理的晶圆箱
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：如果MWU12i内未搭载料盘箱或搭载的料盘箱尺寸与料盘箱料站数跟Job不符合，则不能开始生产(
补充编码 子错误编码：应该安装的晶圆尺寸0x0001：6英寸
0x0002：8英寸
0x0003：12英寸 )
Remedy: NXT-H：请安装与Job一致的料盘箱
料箱尺寸：请确认Job内元件的Shape Data-Shape Process-Die-Wafer Size尺寸。
料箱槽：请在Configuration-Feeder Setup-Feeder Setup上确认搭载元件的料槽。在使用13料槽型料箱时，如果
Job指定了第14以后的料槽也会发生该错误。
补充编码显示合适的晶圆尺寸。
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Code: 80003921
Display: DX Protector功能工作
Used by: NXT,AIM
Cause: 通过DX Protector的保护动作，停止了轴动作。( 补充编码 )
Remedy: 请确认机器内部。
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Code: 80003922
Display: 供料器间距离异常检测
Used by: NXT,AIM
Cause: 运转中检测出供料器间的距离有空隙。(补充编码)
Remedy: 请确认供料器间距离是否满足下记条件。不满足下记条件时，请变更供料器配置。[公差值] 20mm以下
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Code: 80003923
Display: 加热器温度异常警告
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：加热器的温度不在正常范围内。可能是加热器未通电，或加热器已到使用寿命。(补充编码)
Remedy: NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向FUJI咨询。
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Code: 80003924
Display: 加热器断线
Used by: NXT,AIM
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Cause: NXT：加热器断线。(补充编码)
Remedy: NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向FUJI咨询。
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Code: 80003A00
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 伺服放大器异常 ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80003A01
Display: 测出＋方向越位
Used by: NXT,AIM
Cause: 测出了+方向的越位。通过补充编码可以找到出错的轴。( 补充编码【NXT】 M3 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2
: Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : XS轴 M6 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴
【AIMEX】 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴 【NXT-H】 0x0 : Y 轴 0x1 : X
轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴 0x6 : CY轴 0x7 : CX轴 0x8 : CZ轴 【MWU】 0x0 : PZ1轴 0x1 :
EZ1轴 0x2 : EZ2轴 0x3 : TQ 轴 0x4 : PZ2轴 0x5 : PR 轴 0x6 : EX 轴 0x7 : TY 轴 0x8 : SZ 轴 0x9 : PY 轴 0x10
: PX 轴 )
Remedy: (1)：请重启机器。(2)：未成功升级应用程序版本。请重新安装。
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Code: 80003A02
Display: －方向越位
Used by: NXT,AIM
Cause: 测出了-方向的越位。通过补充编码可以找到出错的轴。( 补充编码【NXT】 M3 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2 :
Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : XS轴 M6 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴
【AIMEX】 0x0 : Y 轴 0x1 : X 轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴 【NXT-H】 0x0 : Y 轴 0x1 : X
轴 0x2 : Z 轴 0x3 : R 轴 0x4 : Q 轴 0x5 : Z1轴 0x6 : CY轴 0x7 : CX轴 0x8 : CZ轴 【MWU】 0x0 : PZ1轴 0x1 :
EZ1轴 0x2 : EZ2轴 0x3 : TQ 轴 0x4 : PZ2轴 0x5 : PR 轴 0x6 : EX 轴 0x7 : TY 轴 0x8 : SZ 轴 0x9 : PY 轴 0x10
: PX 轴 )
Remedy: (1)：请重启机器。(2)：未成功升级应用程序版本。请重新安装。
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Code: 80003A03
Display: 发生+方向软极限
Used by: NXT,AIM
Cause: 检测出+方向的软极限。( 补充编码 )
Remedy: (1)：按下紧急停止SW，用手动移动轴，使轴停止后请再次开始。
(2)：请收集发生错误时的跟踪数据，与本公司客服中心联系。
(3)：如果在工作头轴上发生时，请更换工作头。
(4)：多发时，应用软件不能正常版本升级。请重新安装。
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Code: 80003A04
Display: 发生-方向软极限
Used by: NXT,AIM
Cause: 检测出-方向的软极限。( 补充编码 )
Remedy: (1)：按下紧急停止SW，用手动移动轴，使轴停止后请再次开始。
(2)：请收集发生错误时的跟踪数据，与本公司客服中心联系。
(3)：如果在工作头轴上发生时，请更换工作头。
(4)：多发时，应用软件不能正常版本升级。请重新安装。
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