FUJI错误代码查询.pdf - 第4405页

Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：顶起筒更换器放置在与顶起单元以及晶圆台发生干扰的位置。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请操作紧急停止按钮停止运行并将顶起单元移动到设备左侧。 使用EquipmentCheck降低顶起筒更换器，然后将其后退。 请将各Pin号码按照以下状态进行操作。 降低NY042 顶起筒更换器上升 OFF NY043 顶起筒更换器降低 ON 后退NY044 顶起筒更换器前进 O…

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Cause: MWU12i：突起单元与Pot更换器处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F596
Display: EZ轴干涉异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：突起单元与晶圆台处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F597
Display: EZ轴干涉异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：突起单元与晶圆处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F598
Display: Pot吸取压力不足异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：Pot的料带吸取压力没有达到所需压力。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请实施以下项目。
１．顶起Pot的确认
　　·请进行顶起单元的夹紧部分底部和顶起Pot吸取面的检查和清扫。
　　·请确认Pot部的花纹螺丝是否松开。
　　·如果还是异常时请更换Pot。
２．晶圆的确认
　　·使用晶圆接合片时，请确认晶圆和接合片的位置关系是否平行于垂直方向。
　　·请进行晶圆料带反面的检查和清扫。
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Code: 8000F599
Display: 晶圆料带吸取异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：使用Pot吸取晶圆料带时，检测出过量的负压。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：MWU内部的控制机器发生故障，进行恢复时，需要更换电子真空调节器或者控制电路板。请获
取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F59A
Display: 顶起筒掉落异常（晶圆供应设备）
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Cause: MWU12i：晶圆供应设备内的顶起筒置放台或顶起单元内填装的顶起筒有掉落。( 补充编码·子码标示可能掉
落的顶起筒的号码。
·显示为「０」，从顶起筒或顶起单元内掉落的可能性较大。)
Remedy: MWU12i：1．当顶起筒掉落时，请在补充编码号码所指定的顶起筒位置内搭载顶起筒，然后重新开始生产
。
2.顶起筒配置没有问题时，有可能是搭载时发生错位，请先取出顶起筒再重新搭载一次。
3.重新搭载也无法解除错误时，可能是传感器等器件发生故障。请以MWU的IO确认「顶起筒1～6无确认」
(NX052～NX057)以及「顶起筒有无确认」（NX05B）的反映。
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Code: 8000F59B
Display: 顶起筒更换器位置异常(晶圆供应设备)
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Cause: MWU12i：顶起筒更换器放置在与顶起单元以及晶圆台发生干扰的位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请操作紧急停止按钮停止运行并将顶起单元移动到设备左侧。
使用EquipmentCheck降低顶起筒更换器，然后将其后退。
请将各Pin号码按照以下状态进行操作。
降低NY042 顶起筒更换器上升 OFF
NY043 顶起筒更换器降低 ON
后退NY044 顶起筒更换器前进 OFF
NY045 顶起筒更换器后退 ON
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Code: 8000F59C
Display: Pot顶起高度测定异常(晶圆喂料机)
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Cause: MWU12i：Pot顶起高度测定值超出规定范围。( 补充编码 子码代表出错原因。
x表示Socket编号。
x0000001：Pot面高度异常
x0000010：Pot面倾斜度异常
x0000100：销高度异常
x0001000：销参差不齐异常
例)
子错误编码：20000011
Socket2号的Pot检测出Pot面高度异常，Pot面倾斜度异常 )
Remedy: MWU12i：请确认pot是否安装正确。
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Code: 8000F59D
Display: Pot整合性确认异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：因为Pot置放台上安装了不明Pot，所以不能进行Pot的排出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请从子错误编码号码的Socket中除去Pot。
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Code: 8000F601
Display: TY轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TY轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F602
Display: 未实施TY轴的错误复位（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TY轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F603
Display: TY轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TY轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F604
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TY轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F605
Display: TY轴错误(晶圆供料装置)
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Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F606
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：不能进行与TY轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F608
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TY轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F609
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TY轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F60A
Display: TY轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F611
Display: TQ轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
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Cause: MWU12i：TQ轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
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