FUJI错误代码查询.pdf - 第4411页

Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F655 Display: Q台放松异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F656 Display: 晶圆拉出异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM…

100%1 / 5282
之后，请重启运转。
（１-２）
再次发生异常时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调整或者更换。
IO操作
进行夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=OFF
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=OFF
进行松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(前面)=ON
------------------------------
Code: 8000F653
Display: 晶圆X方向的定位松开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行晶圆X方向的定位夹紧的松开。
动作时间过长时也出现此错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）：请确认气压供应值是否正常。
（２）：请通过以下的IO进行晶圆Ｘ方向的定位夹紧－松开操作，确认动作是否正常。
要松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(跟前)=ON
要夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入 NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=OFF
输入 NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(跟前)=ON
汽缸驱动部上有异物等时可能出现胶着状态。
（３）：不能通过1,2项解除异常时，认为可能是传感器异常或者汽缸故障，请进行调整和更换。
------------------------------
Code: 8000F654
Display: Q台夹紧异常（晶圆供应装置）
第 4410 页
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F655
Display: Q台放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F656
Display: 晶圆拉出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆的拉出失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子错误编码显示没有反映的到达端传感器。
　０：左
　１：右
　２：双方
（１）：请在晶圆进入平台前端的状态下，确认晶圆到达端传感器的IO是否正常反映。
输入 NX033：晶圆到达确认（左）=ON
输入 NX035：晶圆到达确认（右）=ON
（２-１）：传感器正常反应时，请将晶圆推入料盘箱安装，直到顶住里面的挡块。
之后请重新开始运转。
（２-２）：传感器没有反应时，可考虑是传感器的异常·故障，需要进行调整·更换。
------------------------------
Code: 8000F657
Display: 晶圆高度测定BKT上升异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未到达上升位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆测定BKT上升-下降的操作并确认动作是否正常。
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
下降时输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入NX02E：晶圆高度测定BKT下降端=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
------------------------------
Code: 8000F658
Display: 晶圆高度测定BKT下降异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未达到下降位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：用以下的IO进行晶圆测定BKT下降-上升的操作并确认动作是否正常。
下降时输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入 NX02E：晶圆盖度测定BKT下降端=ON
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
第 4411 页
输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
------------------------------
Code: 8000F659
Display: 检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能会出现碰撞，所以机器停机
。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．请打开正面门。2.请在清除料盘托架上的异物后，再次按下开始按钮。。3.上述1、2的步骤
也不能够解除异常时，请确认是否存在遮挡DX01A 元件翘起检测(FACE UP) 传感器的光线的物体。反应状态为遮光时
OFF，透光时ON。
------------------------------
Code: 8000F690
Display: 自我诊断异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为晶圆台为上升状态，所以不能切换到自我诊断模式。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在实行维修保养指令-料盘箱退避（托架更换）、下降晶圆台后，再次切换到自我诊断模式。
------------------------------
Code: 8000F691
Display: 没有指定取出元件（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有指定取出的元件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F692
Display: 无吸取对象元件的异常报告（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F693
Display: 存放检测传感器异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。如果超出，则请采取下列措施
。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到
了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置，则请先打开MWU12i的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如
果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开始按钮或通过
EquipmentCheck关闭晶圆stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放好晶圆，使晶圆碰到晶圆stopper。
------------------------------
Code: 8000F694
Display: 料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。
【对策】
（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。
（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污垢时请清扫料台的导轨部。
即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。
------------------------------
第 4412 页