FUJI错误代码查询.pdf - 第3969页
( 补充编码 Job管理器API函数的错误编码 ) Remedy: 1:请切断机器的总电源开关,然后重新启动。 2:重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器跟踪数据,与敝公司Support联系。 ------------------------------ Code: 80009A03 Display: 内存不足 Used by: NXT,AIM Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 因内存不足,不能创建模组数据区…
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Code: 80009903
Display: 数据异常:不存在GROUPDEVICE数据部分
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:群组料站数据 ] 对不起麻烦您获取发生错误时机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司
Support联系。
( 补充编码 )
Remedy: CUnitCoreGroupDeviceData::PriCreateGroupDeviceData
如果发生该异常,有可能是Job破坏了,或者在机器应用程序和Flexa中数据部分的路径名没有一致。
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Code: 80009904
Display: 群组料站数据值异常:模式
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:群组料站数据 ] 在群组料站模式中被指定了SINGLE-SIDE、STANDARD 以外的数据。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009905
Display: SysMode异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:SysMode中被指定了预料外的数据。公差范围:0 ~ 4。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请使用群组料站安装工具重新创建Job。
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Code: 80009906
Display: 群组料站模式异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT:被指定了未对应的群组料站模式。( 补充编码 )
Remedy: NXT:请使用群组料站安装工具重新创建。
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Code: 80009A00
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转,请重新接通总电源开关。
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Code: 80009A01
Display: 机器应用程序异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 由于系统内发生了不正确的处理,因此不能继续处理。
( 补充编码 CUnitCoreWaferUnitData等级内所发生的机器应用程序异常。是函数的自变量异常或存储器的不正确访
问等不应该发生的异常,为软件的缺陷。 )
Remedy: 1:请切断机器的总电源开关,然后重新启动。
2:重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A02
Display: Job管理器异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 在处理从主电脑中取得的数据的过程中或在处理已取得的数据的过程中发生了异
常。
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( 补充编码 Job管理器API函数的错误编码 )
Remedy: 1:请切断机器的总电源开关,然后重新启动。
2:重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A03
Display: 内存不足
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 因内存不足,不能创建模组数据区域。
( 补充编码 CUnitCoreWaferUnitData::PriAllocPolyDt
模组数据不消耗多少内存。如果发生该异常,有可能内存破坏等情况,请取得机器应用程序的跟踪数据,查明所发生的
情况。
)
Remedy: 1:请切断机器的总电源开关,然后重新启动。
2:重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A04
Display: 内部通信异常:模组的逻辑号码的取得失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] [ 生产程序管理:供料器数据 ] 在从基座处取得模组的逻辑号码的过程
(COMApi)中发生了异常。
( 补充编码 )
Remedy: 请关闭基座的总电源开关然后重新启动,确认该基座上的所有模组是否正常启动。所有模组正常启动后,请
暂时将生产线的状态变更为「假想生产线」,然后返回到「实际生产线」,由FujiFlexa发送生产线变更通知。如果正
常发送了生产线变更通知,请重新传输Job。
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Code: 80009A05
Display: Collet Setup内部数据值异常:在ColletSetup数据部分的记录中没有记入HolderId
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] [ 生产程序管理:吸嘴头安装数据 ] 在ColletSetup数据部分的记录中没有记入
HolderId。
( 补充编码 )
Remedy: 请使用Job编制器打开对象Job,确认MachineConfiruration-FeederSetup-ColletSetup标签页的设定
。存在设定不当时,请进行ColletSetup的数据修正,然后重新传输。
没有发现设定不当或者编辑后重新传输也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器、Flexa各自的跟踪数据
,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A06
Display: Collet Setup数据值异常:Collet Name
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] [ 生产程序管理:供料器数据 ] Machine Configuration的Collet Setup的
Collet Name的数值内有被输入。或者,数值在公差范围外。公差范围 : 1文字以上32文字以内
( 补充编码 )
Remedy: 请在主电脑中,在Job的MachineConfiruration-Collet Available标签页和ColletSetup标签页内确认
Collet Name。如果ColletName中的Collet没有在ColletAvailable内,请在Machine Configuration画面上进行工具
[菜单]的「规格数据的更新」。
还是没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A07
Display: Collet Avail数据值异常:Name
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] [ 生产程序管理:供料器数据 ] Collet Avail的Name没有被输入。
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( 补充编码 )
Remedy: 请在主电脑中,在Job的Machine Configuration-FeederSetup-Collet Available标签页和
ColletSetup标签页内确认Collet Name。
还是没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A08
Display: 晶圆数据不正确访问:晶圆数据Index指定异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 所指定的供料器数据的Index过小或过大。
( 补充编码 )
Remedy: 1:请切断机器的总电源开关,然后重新启动。
2:重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A09
Display: 晶圆数据不正确访问:无数据
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ]在现在的生产程序中虽然不存在晶圆数据,但是想要从中取得数据。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009A0A
Display: 晶圆数据不正确访问:在安装信息中,该收存格不持有筒夹
Used by: NXT,AIM
Cause: [ 生产程序管理:晶圆数据 ] 想要从不持有筒夹的收存格中取得筒夹信息。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的机器、Flexa各自的跟踪数据,与敝公司Support联系。
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Code: 80009B00
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM,GPX
Cause: [ IH1外壳程序 ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转,请重新接通总电源开关。
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Code: 80009B01
Display: 初期化错误
Used by: NXT,AIM,GPX,NXTP
Cause: [ IH1外壳程序 ] IH1外壳程序的初期化失败了。
( 补充编码 无 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司Support联系。
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Code: 80009B02
Display: 指令ID取得失败
Used by: NXT,AIM,GPX,NXTP
Cause: [ IH1外壳程序 ] 对IH1控制器的指令发送失败了。
( 补充编码 无 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司Support联系。
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Code: 80009B03
Display: 指令发送错误
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