FUJI错误代码查询.pdf - 第4386页
Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i:MWU相机处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·调试模式的设定失败·WOI尺寸(相 机登录)失败的具体内容请参考子码。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。 ------------------------------ Code: 8000F491 Display: 相机处理 数据异常(晶圆供料机) Used by: NXT,AIM Caus…
Remedy: MWU12i:请更换晶圆或修改该晶圆的倾斜度。
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Code: 8000F42F
Display: 吸取开始点指定位置偏移异常(晶圆拾取机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。(补充编码)
Remedy: MWU12i:切割宽度可能偏离Job中的设定值。请在重新开始运转后的吸取开始位置指定上修正位置。
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Code: 8000F430
Display: 为了跳过1行以上的晶圆进行生产而停止了。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:因为在晶圆图表中的吸取中,检测出吸取动作中残留了1行以上的预定吸取的裸芯片而停止了。
(补充编码)
Remedy: MWU12i:请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。取得跟踪数据后,请在补充向导画
面上实施晶圆更换指令后重新补充。
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Code: 8000F431
Display: 因晶圆的偏移量超过公差值而停止。
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆的偏移量超出公差值,因此晶圆图表和实际元件的位置可能不符。( 补充编码 此错误在指定
吸取开始位置时,晶圆图表核对模式下核对方法错误时也可能发生。核对晶圆图表和实际元件的位置时也发生此错误时
可能是晶圆的粘贴位置偏移。此时请更换为其他晶圆。)
Remedy: MWU12i:·请确认Job的元件尺寸和切割幅度是否一致。元件尺寸:[Shape Data]-[Shape
Information]-[Length(X)]/[Width(Y)] 切割幅度:[Package Data]-[Package Information]-[X Cut Width]/[Y Cut
Width] ·请确认Multi block 元件时,Job的block位置是否一致。block位置:[Package Data]-[Package
Information]-[Pickup block position, Block ID position] ·吸取开始位置指定时使用晶圆图表核对模式,核对晶圆
图表和实际元件的位置关系。
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Code: 8000F480
Display: VP版本升级异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:VP版本升级失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码的子码 0x00000001表示 打开System版
本升级基文件失败 0x00000002表示读取 System版本升级基文件失败 0x00000003 表示打开Venus版本升级基文件
失败0x00000004表示读取Venus版本升级基文件失败。)
Remedy: MWU12i:正在讨论对策。临时消息、对应方法在发行MWU12i时重新修正。
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Code: 8000F481
Display: 影像处理 晶片数据登录异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:超出可在VA登录的晶片数量。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请保证在用于生产晶片与用于参考晶片的总和不超过125的状态下变更Job数据。临时消息、对
应方法在发行MWU12i时重新修正。
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Code: 8000F482
Display: 相机连接异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:连接了未登录的相机。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请连接到MWU12i晶圆相机"FJ4000WF"。临时消息、对应方法在发行MWU12i时重新修正。
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Code: 8000F490
Display: 相机处理 控制系统异常(晶圆供料机)
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU相机处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·调试模式的设定失败·WOI尺寸(相
机登录)失败的具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F491
Display: 相机处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU相机登录失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·登录失败 ·取消登录失败 关于具体
内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F492
Display: 不良晶片定位点影像处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:不良晶片定位点的影像处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·读取失败 ·处理影像失
败 ·获取结果失败·结果显示失败 具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F493
Display: 不良晶片定位点影像处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码( 补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F494
Display: 相机连接检查处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码。( 请参考补充编码的子码)
Remedy: MWU12i:获取相机信息失败了。具体内容请参考子码。
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Code: 8000F496
Display: 晶片状况显示处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F497
Display: 晶片状况显示处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码。( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F498
Display: 影像一栏信息处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F499
Display: 影像一览信息处理 数据异常(晶圆供料机)
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F49A
Display: 用于相机分辨率测定的基准定位点影像处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:用于相机分辨率测定的基准定位点影像处理失败了。·读取影像失败·处理影像失败 ·获取结果
失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F49B
Display: 用于相机分辨率测定的基准定位点影像处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:用于MWU分辨率测定的定位点登录处理失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F49C
Display: 分辨率测定的结果输出处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:MWU分辨率演算失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F49D
Display: 分辨率测定的结果输出处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码( 补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F49E
Display: 吸嘴头修正量测定处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:吸嘴头修正量测定处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。·定位点影像处理失败。·获
取结果失败。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F49F
Display: 吸嘴头修正量测定处理 数据异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F4A0
Display: 吸嘴2二维码处理 控制系统异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:吸嘴二维码处理失败了。·读取影像失败 ·处理影像失败 ·获取结果失败 ·结果显示失败 关于
具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认子码的内容。
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Code: 8000F4A1
Display: 吸嘴二维码处理 数据异常(晶圆供料机)
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