FUJI错误代码查询.pdf - 第3808页

为发生了不可同时吸取动作等限制，详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。为了 解除限制，需要调整MWU和G04后登录组合到机器上，请联系本公司的售后服务人员。 ------------------------------ Code: 80009000 Display: 内部处理异常 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(1) ] 系统内发生了处理异常。 ( 补…

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Cause: NXT-H：晶圆供料单元的工作头在翻转动作中发生了元件落下。( 补充编码 发生异常的晶圆供料单元的
Holder号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )
Remedy: NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的Holder进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。
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Code: 80008F11
Display: 晶圆供料单元停止时元件落下
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆供料单元的工作头在机器停止中发生了元件落下。( 补充编码 发生异常的晶圆供料单元的
Holder号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )
Remedy: NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的Holder进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。
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Code: 80008F12
Display: 安装了未登录翻转生产工作头
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：选择了翻转生产的设定，但是安装的工作头不是登录工作头。在没有登录的工作头上，同时吸取时
的吸取率有可能下降而不能开始生产。(补充编码)
Remedy: NXT-H：继续生产时，请将「Permit use of a head other than the head which is registered for face-
down production」的设置变更为「Allow」。变更设定时，请在调整吸取后进行生产。或者，请更换为登录工作头。
※详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。
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Code: 80008F13
Display: 翻转生产未登录工作头使用许可设定为许可
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：虽然安装了已登录翻转生产的工作头，但是「翻转生产未登录工作头使用许可设定」为「许可」。
(补充编码)
Remedy: NXT-H：因为使用了未登录工作头，模组功能设定的「翻转生产未登录工作头使用许可设定」是「许可」的
设定，因为回到了登录工作头的使用，所以请返回到「不许可」。因为更换了工作头，所以请在调整吸取后进行生产。
※详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。
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Code: 80008F14
Display: 翻转生产专用的工作头未被登录
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：虽然选择了翻转生产的设定，但是因为在翻转生产用时已经调整的工作头没有登录到MWU中，所以
不能开始生产。(补充编码)
Remedy: NXT-H：继续生产时，请将模组功能设定的「翻转生产未登录工作头使用许可设定」变更为「许可」。※因
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为发生了不可同时吸取动作等限制，详细内容请参照晶圆生产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。为了
解除限制，需要调整MWU和G04后登录组合到机器上，请联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80009000
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80009001
Display: 动力ON失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 安全继电器没有ON
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否发生了本机以及MWU的门是否关闭等紧急停止要素。
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Code: 80009002
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009003
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009004
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009005
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009006
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
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Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009007
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009008
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009009
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000900A
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000900B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000900C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000900D
Display: 料盘箱供料托架夹紧异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(1) ] 料盘箱供料托架夹紧失败了。
( 补充编码 )
Remedy: (1)如果有干涉物请在除去后重新开始。
(2)重新开始后也不能解除时，请持有维修保养资格的作业者确认以下事项。
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