FUJI错误代码查询.pdf - 第4367页

Display: 料盘箱松开异常(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：料盘箱的松开失败了。(补充编码) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F254 Display: 供料托架收存异常(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：收存位置没有供料托架。(补充编码) Remedy: MWU12i：请确认…

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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F206
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：有关TZ轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F207
Display: 料盘高度测定失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：测定数据有问题 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F208
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F209
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：TZ轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F250
Display: 矫正推杆前进异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：矫正推杆前进失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F251
Display: 矫正推杆后退异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：矫正推杆后退失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F252
Display: 料盘箱夹紧异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱的夹紧失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F253
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Display: 料盘箱松开异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱的松开失败了。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F254
Display: 供料托架收存异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：收存位置没有供料托架。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认供料托架是否在收存位置。请从料盘箱确认晶圆·料盘等是否露出。
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Code: 8000F255
Display: 料盘箱晶圆落下防止挡块异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：检测出料盘箱晶圆落下防止挡块的异常。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请确认料盘箱晶圆落下防止挡块的状态。
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Code: 8000F256
Display: 料盘箱最大料槽数识别异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱最大料槽数确认传感器可能没有正确识别出是安装了25料槽的料盘箱还是13料槽的料盘箱
。( 补充编码 这个错误在用元件高度测定传感器识别的料盘箱的最大料槽数不一致时发生。)
Remedy: MWU12i：（１）料盘箱在补充位置上时请确认以下传感器的输入状态。
·晶圆供料装置的远程I/O输入的销号码 NX018
→OFF状态:25料槽料盘箱
→ON状态:与13料槽料盘箱
实际的料盘箱的最大料槽数不一致时，请确认传感器的安装状态或者料盘箱的安装状态。
（２）１．中无异常时，供料托架的高度测定传感器检测到料盘箱的顶部板有异常，因此请进行以下确认。
·是否使用了没有顶部板的料盘箱？
·料盘箱门内侧粘贴的反射贴纸上是否有污垢或脱落？
如果以上项目无异常，需要调整和更换供料托架高度测定传感器。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Magazine25SlotCheckSensor.gif">
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Code: 8000F257
Display: 晶圆挡块前进异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆挡块前进时失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。
前进时输出NY014：晶圆挡块前进=ON
输出NY016：晶圆挡块后退=OFF
输入 NX00A：晶圆挡块前进端=ON
后退时输出NY016：晶圆挡块后退=ON
输出NY014：晶圆挡块前进=OFF
输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F258
Display: 晶圆挡块后退异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
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Cause: MWU12i：晶圆挡块后退失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。
后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON
输出 NY014：晶圆挡块后退=OFF
输入NX00B：晶圆挡块后退=ON
前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON
输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF
输入 NX00A：晶圆挡块后退=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F259
Display: 料箱灯罩监控开始异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩无法受光。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认灯罩的传感器部分。
·CPU I/O输入的Pin号码DX003
投光状态：DX003设置为ON
请按照以下顺序进行确认。
1.请确认是否有遮光物。
2.有可能因受外部光线的干扰而无法受光。请确认传感器部分。
3.有可能是传感器的调试不良。请调试投光与受光位置。
4.未投光时，有可能是传感器发生故请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。
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Code: 8000F25A
Display: 料箱灯罩监控停止异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩监视无法停止。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：因为有可能是受到外部光线的干扰，所以请确认灯罩的传感器部分。
·CPU I/O输入的Pin号码DX003
投光停止状态：DX003设置为OFF
既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤
，与本公司客服中心联系障。
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Code: 8000F290
Display: 无料盘箱异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：没有安装料盘箱。(补充编码)
Remedy: MWU12i：１．请安装料盘箱，重新开始生产。2.在1不能异常恢复时，维修保养人员以上的作业者请确认
料盘箱。
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Code: 8000F291
Display: 料盘箱落座OFF(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘箱在升降动作中脱落了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请安装晶圆供料装置的料盘箱。
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Code: 8000F292
Display: 料盘箱适配器异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
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