FUJI错误代码查询.pdf - 第4428页
Display: 读取的条形码不一致(晶圆供应设备) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i:读取的条形码与上一次补充晶圆的条形码不一致。 可能需要手工补充晶圆。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i:实行晶圆替换指令,然后在搭载晶圆 <img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Wafer_Change_Command.gif"> -----------------…
子码表示错误的原因。
0:校正未结束
1:在测定中想要用不合适的Job测定( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:子码是0的时候,请传送测定专用Job开始自动运转。请确认自动校正值结束在周期循环停止后重
新实施治具测定。
子码是1的时候,请传送测定专用Job,进行上述的运转处理之后进行测定。
测定专用Job的规定:不能使用1~4料槽、最下段料槽测定。或者请用1个Job只在1个料槽上安装治具。
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Code: 8000F77F
Display: 校正未结束(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:因为校正未结束,所以机器不能动作。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请开始自动运转。显示补料画面,请确认自动校正是否结束。此后,请在周期停止后重新实行校
正。
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Code: 8000F780
Display: 由于连接调整工具,所以不能运转机器。
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:由于需通过重启机器更新内容,所以不能继续运转机器。
Remedy: 请关闭机器电源进行重启。
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Code: 8000F786
Display: 晶圆图表转换异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:利用转换工具转换晶圆图表失败了。( 补充号码 子码:转换工具的错误编码 )
Remedy: MWU12i:请出力子码的异常。无法解决该问题时请获取出错时的跟踪数据并联系本公司的代理店或售后服
务人员。
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Code: 8000F787
Display: 自动晶片宽度计算异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶片宽度的计算失败了。请确认子码的内容。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:子码 0x00000001:无法检测出晶圆边线请确认明暗判定的阈值。0x00000002:未设置行列
数。0x00000003:无法正确计算出晶圆元件的尺寸。
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Code: 8000F788
Display: 晶片宽度设置值异常(晶圆供料机)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:无法在Job上设置晶片宽度。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请设置Job上Package Data/Package Information的[X Cut Width],[Y Cut Width]值,或者
将[Measure Wafer Cut Width and Tilt]设定为Yes。在知道切割晶圆后的晶片之间的槽宽时,请设置[X Cut
Width],[Y Cut Width]值。不知道的情况下,请通过测试指令的晶片切割宽度设定晶片宽度。
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Code: 8000F789
Display: 正在使用晶圆图表(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:取得的晶圆图表正在其他料槽中被使用。( 补充编码 子码:使用中的料槽号码 )
Remedy: MWU12i:出错料槽的晶圆返回到子码中记载的料槽内,然后再重新开始运转。
或者在换线画面上。
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Code: 8000F78A
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Display: 读取的条形码不一致(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:读取的条形码与上一次补充晶圆的条形码不一致。
可能需要手工补充晶圆。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:实行晶圆替换指令,然后在搭载晶圆
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Wafer_Change_Command.gif">
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Code: 8000F78B
Display: 条形码读取异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:利用内置扫描仪进行条形码的扫描失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:内置扫描仪动作时,扫描仪侧面的绿灯亮灯。
条形码读取失败时,红灯亮灯请确认读取成功还是失败。
当读取失败时,请确认一下项目。
1.请确认内置扫描仪的位置是否在条形码通过线的上方。
2.因为条形码脱落或粘附污垢致使无法读取,请打印条形码并重新粘贴。
无法解决该问题时请获取出错时的跟踪数据并联系本公司的代理店或售后服务人员。
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Code: 8000F78C
Display: 警员验证设置异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆验证设置为ON时,需要连接晶圆供应装置与内置扫描仪。
当“内置扫描仪故障时运用”设置为ON时,即便晶圆验证设置为ON也会发生同样错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:晶圆验证设置为ON时,请连接内置读卡器并将。
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Code: 8000F78D
Display: 晶圆图表下载异常(图表伺服)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:无法从晶圆图表伺服上将晶圆图表下载到机器内。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认图表伺服是否与机器通信,请利用ping等进行确认并使其通信。请再机器上确认图表伺服
的IP账号指定是否正确。
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Code: 8000F78E
Display: 晶圆图表下载异常(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:无法从辅助软件或机器上下载晶圆图表。
因为通信路径出错而不能下载晶圆图表文件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:在获取追踪数据时,如果是Job传输的通信负荷过高,请在结束通信后重新进行操作。
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Code: 8000F78F
Display: 找不到晶圆图表数据(晶圆供应设备)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:机器内不存在获取的晶圆图表。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请确认晶圆图表素服汇集期内是否存在相应文件。
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Code: 8000F790
Display: 不能进行晶圆图表用FTP的下载
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:因为不能下载晶圆图表,所以不能生产。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:【运用FTP服务器时】
FTP服务器上可能没有连接了机器的晶圆图表。
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请向FTP服务器登录晶圆图表。
还是发生错误时,请确认FTP服务器的设定。
请从机器画面左端的快速启动栏上启动WafermapConverter后,按下"Settings"键确认以下内容。
·IsUseFTPConnect变为Yes(No时变为USB运用)
·Username,Password,PortNo,AccessPoint被设定为可以连接FTP Site
[服务器条件]
·服务器种类为IIS 7.5以上
·FTP Site 的设定中 FTP目录的参照方式为MS-DOS
详细设定请参照晶圆图表安装手册。
【USB运用时】
晶圆图表可能没有从USB存储器导入到机器。
请用USB存储器将晶圆图表导入到登录的机器。
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Code: 8000F791
Display: 不存在晶圆图转换器
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:由于没有晶圆图的转换软件,所以不能生产。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:有可能是WafermapFtpTool 安装失败或是初始设置失败。
请实行WafermapFtpTool 的安装。
通过以上对策也无法解决时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F792
Display: 晶圆图专用外部工具的实行错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:FTP所连接的工具停止了。由于不能连接FTP服务器,所以无法取得晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请关关机,然后再重新接通电源。
经过上述处理后仍然发生错误时,则有可能是 WafermapFtpTool 的安装失败或是初始设置失败。
通过以上对策也无法解决时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F793
Display: 不存在上传的晶圆图
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:无法确认要上传的晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:该错误一般不会发生。
通过以上对策也无法解决时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F794
Display: 不存在晶圆图的解码器
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:未发现晶圆图的解码软件。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:该错误一般不会发生。
通过以上对策也无法解决时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F795
Display: 晶圆图专用外部工具的实行错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:FTP所连接的工具停止了。由于不能连接FTP服务器,所以不能上传晶圆图。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i:请关关机,然后再重新接通电源。
经过上述处理后仍然发生错误时,则有可能是 WafermapFtpTool 的安装失败或是初始设置失败。
通过以上对策也无法解决时,请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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