FUJI错误代码查询.pdf - 第3898页

Used by: NXT,AIM Cause: Reference mark的识别失败了。行(列)可能发生偏移。( 补充编码 ) Remedy: 请通过异常发生时补充画面进行以下处理。处理①．请确认晶圆为可以参照 Reference mark的状态。 · 晶圆被固定在结合片中央。 · Reference mark上没有污垢和缺损。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充 后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时…

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CYCLE STOP按钮中断生产，重新执行测试指令。
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Code: 80009282
Display: 测试指令异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 因为没有结束吸着点指定，不能执行测试指令。
( 补充编码 子错误编码意味着料槽号码。 )
Remedy: 请在指定吸取测试执行对象料槽的吸着点后重新执行吸取测试。
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Code: 80009283
Display: 测试指令异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 因为存在筒夹和晶圆环发生干涉的危险，所以不能实行吸取测试。
( 补充编码 )
Remedy: １．请确认筒夹种类的指定是否有误。
2．请选择比现在选择的晶片更加靠近晶圆中心的晶片后，重新进行吸取测试。
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Code: 80009284
Display: 数据编辑范围外异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 在MWU中所编辑的数据不能反映给机器。
( 补充编码 )
Remedy: 此错误通常不发生。显示该错误时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据和JOB，与弊公司Support联
系。
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Code: 80009285
Display: 料盘托架在JOB数据中不存在
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] NXT要求料盘托架校正，但是在JOB数据中没有料盘托架。
( 补充编码 )
Remedy: 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系
。
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Code: 80009286
Display: 测试指令异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 由于没有完成参考定位点读取，因此不能执行测试指令。
( 补充编码 )
Remedy: 请按下开始按钮，在完成元件补充后，按下SUPPLY COPLT按钮，执行参考定位点读取。
参考定位点读取完成后，请按下CYCLE STOP按钮，中断生产，再次执行测试指令。
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Code: 80009287
Display: 不明顶起销检出
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(3) ] 筒夹上有可能被安装了多余的顶起销。
( 补充编码 子错误编码表示对象的筒夹号码。 )
Remedy: １．请确认筒夹上是否被安装了多余的顶起销销。
２．请确认筒夹上面是否有损伤或污垢。
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Code: 80009288
Display: 通过时Reference mark参照异常
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Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark的识别失败了。行(列)可能发生偏移。( 补充编码 )
Remedy: 请通过异常发生时补充画面进行以下处理。处理①．请确认晶圆为可以参照 Reference mark的状态。 ·
晶圆被固定在结合片中央。 · Reference mark上没有污垢和缺损。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充
后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行Teaching后，重新
开始生产。处理①不能解决时请进行以下处理。处理②．请确认Local Reference的Job设定。（ShapeData-
ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info）通过时使用 Reference功能时，需要将晶圆上的所有
Reference mark登录为Local Reference。为了避免发生异常，请将晶圆上的Reference mark全部登录为Locak
Reference。进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。组合不正确时，请获取发
生错误时的跟踪数据和从辅助软件取得的影像并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80009289
Display: 生产晶片影像处理结果范围异常（检测出1个元件大小的偏移）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：从复数生产晶片的影像处理结果中，检测到大于一个元件程度的偏移量。
行(列)可能存在偏移。
( 补充编码 )
Remedy: NXT：请通过异常发生时补充画面进行以下处理。
请确认晶圆的状态。
· 晶圆被固定在结合片中央。
没有问题时，请完成元件补充。
请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。
发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行Teaching后，重新开始生产。
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Code: 8000928A
Display: 晶圆元件的吸取没有达到一定时间
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为吸取的时间间隔中有停顿，为了防止Dicing tape伸展引起吸取偏移停止了吸取。( 补充编码
)
Remedy: MWU12i：请按下[COMP]键，重新指定吸取开始位置。此外，没有扩晶产生的Dicing tape伸展，或者元件
尺寸较大时，通过将机器功能设定的[吸取偏移防止功能]－[Dicing tape伸展产生的吸取偏移防止功能]设定为"不使用
"后，即使 吸取的时间间隔中有停顿，也可以继续进行生产。
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Code: 80009300
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80009301
Display: 条形码读取器通信初始化异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 条形码读取器的初始化失败了
( 补充编码 )
Remedy: (1) 请重新接通电源。
(2) 通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009302
Display: 条形码读取器通信异常
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Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 与条形码读取器的通信失败了
( 补充编码 )
Remedy: 1．请再次进行条形码读取。
2．通过1的方法不能解除时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009303
Display: 过滤器文件读入异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 用于抽出DID的过滤器文件读入失败了。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否断线了，或者通信设定是否出错。
如果找不到文件时，发生本错误。
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Code: 80009304
Display: 晶圆图表列表文件读入异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 晶圆图表列表文件读入失败。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否断线了，或者通信设定是否出错，或者文件是否存在。
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Code: 80009305
Display: 晶圆ID异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 晶圆ID不正确。
( 补充编码 子码：
00000101 : 不能够访问RWB。
00000301 : 晶圆图表列表中没有字符串。
00000302 : 找不到与DID相一致的晶圆图表名。
00000303 : 文件名过长。(31个字符为止，后缀除外)
00000401 : 过滤器文件中没有字符串。
00000402 : DID的过滤器环路失败。
00000403 : 过滤器文件的1行的字符串过长。(100个字符为止)
00000405 : 过滤器文件中没有DID抽出的指定。
00000406 : 没有相一致的过滤器类型。
00000407 : 通过过滤器抽出的DID为空。
00000408 : 过滤器解析后字符串超出了31个字符。
00000409 : 超出了能够注册的过滤器最大类型。(100件) )
Remedy: 1.请确认子码，请重新设定过滤器，使得能够抽出正确的晶圆ID。
2.读取的数值明显与条形码的内容不符时，请再次读取。
3.通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009306
Display: 晶圆ID匹配异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 在晶圆图表一览表中没有发现读取的DID。
( 补充编码 子码：
00000101 : 不能访问RWB。
00000301 : 晶圆图表一览表中没有文字列。
00000302 : 没有发现和DID一致的晶圆图表名。
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