FUJI错误代码查询.pdf - 第4371页

和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集 出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。 ------------------------------ Code: 8000F306 Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：PX轴不能发表Dam ( 补充编码 ) Remedy: --------------…

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Display: 不能收存晶圆或料盘的托架
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码)
Remedy: MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。
取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。
请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。
请继续运转机器。
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Code: 8000F29B
Display: 晶圆stopper动作异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。(补充编码)
Remedy: MWU12i：晶圆stopper既不在前进端也不在后退端。1) 如果晶圆被拉出到了输送平台上，则请先按下紧急
停止按钮并打开正面门，然后再取出晶圆。2) 请确认气压是否正常。3)请使用EquipmentCheck并通过下列I/O使晶
圆stopper前进或后退并确认动作是否正常。前进时 输出 NY014：晶圆stopper前进=ON 输出 NY016：晶圆
stopper后退=OFF 输入NX00A：晶圆stopper前进端=ON 后退时 输出 NY016：晶圆stopper后退=ON 输出
NY014：晶圆stopper前进=OFF 输入NX00B：晶圆stopper后退=ON 如果气缸驱动部位有异物，可能会发生卡死现
象。4)如果采取1、2这两种措施后异常还是无法消除，则有可能是传感器有异常或气缸发生了故障。请根据情况进行调
整或更换。
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Code: 8000F301
Display: PX轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F302
Display: PX轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PX轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F303
Display: 等待PX轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PX轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F304
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F305
Display: PX轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
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和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F306
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F308
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F309
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PX轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F311
Display: PY轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F312
Display: PY轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PY轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F313
Display: 等待PY轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PY轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F314
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F315
Display: PY轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
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(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F316
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F318
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F319
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PY轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F321
Display: PZ1轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F322
Display: PZ1轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PZ1轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F323
Display: 等待PZ1轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PZ1轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F324
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ1轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F325
Display: PZ1轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
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