FUJI错误代码查询.pdf - 第3899页

Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(4) ] 与条形码读取器的通信失败了 ( 补充编码 ) Remedy: 1．请再次进行条形码读取。 2．通过1的方法不能解除时，请重新接通电源。 3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。 ------------------------------ Code: 80009303 Display: 过滤器文件读入异…

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Used by: NXT,AIM
Cause: Reference mark的识别失败了。行(列)可能发生偏移。( 补充编码 )
Remedy: 请通过异常发生时补充画面进行以下处理。处理①．请确认晶圆为可以参照 Reference mark的状态。 ·
晶圆被固定在结合片中央。 · Reference mark上没有污垢和缺损。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充
后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行Teaching后，重新
开始生产。处理①不能解决时请进行以下处理。处理②．请确认Local Reference的Job设定。（ShapeData-
ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info）通过时使用 Reference功能时，需要将晶圆上的所有
Reference mark登录为Local Reference。为了避免发生异常，请将晶圆上的Reference mark全部登录为Locak
Reference。进行以上对策后还是发生异常时，请确认Flexa的版本和机器软件版本的组合。组合不正确时，请获取发
生错误时的跟踪数据和从辅助软件取得的影像并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 80009289
Display: 生产晶片影像处理结果范围异常（检测出1个元件大小的偏移）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：从复数生产晶片的影像处理结果中，检测到大于一个元件程度的偏移量。
行(列)可能存在偏移。
( 补充编码 )
Remedy: NXT：请通过异常发生时补充画面进行以下处理。
请确认晶圆的状态。
· 晶圆被固定在结合片中央。
没有问题时，请完成元件补充。
请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。
发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行Teaching后，重新开始生产。
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Code: 8000928A
Display: 晶圆元件的吸取没有达到一定时间
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：因为吸取的时间间隔中有停顿，为了防止Dicing tape伸展引起吸取偏移停止了吸取。( 补充编码
)
Remedy: MWU12i：请按下[COMP]键，重新指定吸取开始位置。此外，没有扩晶产生的Dicing tape伸展，或者元件
尺寸较大时，通过将机器功能设定的[吸取偏移防止功能]－[Dicing tape伸展产生的吸取偏移防止功能]设定为"不使用
"后，即使 吸取的时间间隔中有停顿，也可以继续进行生产。
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Code: 80009300
Display: 内部处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 系统内发生了处理异常。
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司Support联系。为了重
新开始运转，请重新接通总电源开关。
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Code: 80009301
Display: 条形码读取器通信初始化异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 条形码读取器的初始化失败了
( 补充编码 )
Remedy: (1) 请重新接通电源。
(2) 通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009302
Display: 条形码读取器通信异常
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Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 与条形码读取器的通信失败了
( 补充编码 )
Remedy: 1．请再次进行条形码读取。
2．通过1的方法不能解除时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009303
Display: 过滤器文件读入异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 用于抽出DID的过滤器文件读入失败了。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否断线了，或者通信设定是否出错。
如果找不到文件时，发生本错误。
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Code: 80009304
Display: 晶圆图表列表文件读入异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 晶圆图表列表文件读入失败。
( 补充编码 )
Remedy: 请确认是否断线了，或者通信设定是否出错，或者文件是否存在。
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Code: 80009305
Display: 晶圆ID异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 晶圆ID不正确。
( 补充编码 子码：
00000101 : 不能够访问RWB。
00000301 : 晶圆图表列表中没有字符串。
00000302 : 找不到与DID相一致的晶圆图表名。
00000303 : 文件名过长。(31个字符为止，后缀除外)
00000401 : 过滤器文件中没有字符串。
00000402 : DID的过滤器环路失败。
00000403 : 过滤器文件的1行的字符串过长。(100个字符为止)
00000405 : 过滤器文件中没有DID抽出的指定。
00000406 : 没有相一致的过滤器类型。
00000407 : 通过过滤器抽出的DID为空。
00000408 : 过滤器解析后字符串超出了31个字符。
00000409 : 超出了能够注册的过滤器最大类型。(100件) )
Remedy: 1.请确认子码，请重新设定过滤器，使得能够抽出正确的晶圆ID。
2.读取的数值明显与条形码的内容不符时，请再次读取。
3.通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009306
Display: 晶圆ID匹配异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 在晶圆图表一览表中没有发现读取的DID。
( 补充编码 子码：
00000101 : 不能访问RWB。
00000301 : 晶圆图表一览表中没有文字列。
00000302 : 没有发现和DID一致的晶圆图表名。
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00000303 : 文件名过长。(31文字为止 扩展名除外)
00000304 : 和读取的DID一致的文件已经被读取了。
00000401 : 过滤器文件中没有文字列。
00000402 : DID的过滤失败了。
00000403 : 过滤器文件的1行的文字列过长。(100文字为止)
00000405 : 没有对过滤器文件的DID抽出的指定。
00000406 : 没有一致的过滤器类型。
00000407 : 过滤器抽出的DID是空的。
00000408 : 过滤器解析后的文字列超过了31文字。
00000409 : 超过了最大可以登录的过滤器类型。(100件) )
Remedy: 1.请确认子码，确认读取的晶圆ID是否正确。
2.读取的晶圆ID正确时，请使用晶圆图表管理工具确认对应的晶圆图表文件是否存在。
3.上述对策也不能解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009307
Display: 条形码读取器关联
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 预约
( 补充编码 )
Remedy: 预约
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Code: 80009308
Display: 条形码读取器关联
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 预约
( 补充编码 )
Remedy: 预约
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Code: 80009309
Display: 条形码读取器关联
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 预约
( 补充编码 )
Remedy: 预约
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Code: 8000930A
Display: 生产线PC通信异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 不能够从生产线PC处取得文件
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000930B
Display: 晶圆图表读入异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(4) ] 晶圆图表数据的读入失败。
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000930C
Display: 晶圆图表数据异常
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