FUJI错误代码查询.pdf - 第4416页

时，请进行调整使： NX040 吸嘴更换器上升端 OFF、 NX041 吸嘴更换器下降端 ON ------------------------------ Code: 8000F707 Display: Pod changer上升异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：MWU的Pod changer上升失败了。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重…

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Code: 8000F702
Display: 动力OFF异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F703
Display: 吸嘴更换器挡板打开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板打开失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 ON、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 OFF
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 ON、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 OFF
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Code: 8000F704
Display: 吸嘴更换器挡板关闭异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器挡板关闭失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 OFF、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 ON
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 OFF、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 ON
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Code: 8000F705
Display: 吸嘴更换器上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器上升失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 ON、
NY041 吸嘴更换器下降 OFF
时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 ON、
NX041 吸嘴更换器下降端 OFF
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Code: 8000F706
Display: 吸嘴更换器下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的吸嘴更换器下降失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 OFF、
NY041 吸嘴更换器下降 ON
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时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 OFF、
NX041 吸嘴更换器下降端 ON
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Code: 8000F707
Display: Pod changer上升异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的Pod changer上升失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer上升 ON、
NY043 Pod changer下降 OFF
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer上升端 ON、
NX051 Pod changer下降端 OFF
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Code: 8000F708
Display: Pod changer下降异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU的Pod changer下降失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)有干涉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer上升 OFF、
NY043 Pod changer下降 ON
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer上升端 OFF、
NX051 Pod changer下降端 ON
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Code: 8000F709
Display: 除静电装置复位异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70A
Display: 除静电装置放电开始异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70B
Display: 除静电装置放电停止异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F70C
Display: 元件料尽显示闩锁ON 异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件料尽闩锁 ON 控制时发生超时。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
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连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。
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Code: 8000F70D
Display: 元件料尽显示闩锁OFF 异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：元件料尽闩锁 OFF 控制时发生超时。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。
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Code: 8000F70E
Display: 紧急停止SWON异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：按下了紧急停止SW。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请解除紧急停止SW。
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Code: 8000F70F
Display: MWU控制I/F板保险丝断开
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：MWU控制I/F板的保险丝断开了( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请更换MWU控制I/F板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手册的「损耗品的更换」-「
MWU控制I/F板保险丝的更换」。
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Code: 8000F710
Display: 风机旋转异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：检测出以下其中之一的风机的异常。
·吸气风机
·排气风机1
·排气风机2
·其他风机( 补充编码 )
Remedy: NXT：请打开机器右侧面盖罩后确认控制电路板的LED（PL13～18），消除异常原因。
在发布暂定信息、MWU12i时进行修正。
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Code: 8000F711
Display: 气源压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：气源压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认气源压力，消除气源压力低下的原因。
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Code: 8000F712
Display: 真空压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：真空压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。
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Code: 8000F713
Display: 真空泵压力低下异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT：真空泵的真空压力低下。( 补充编码 )
Remedy: NXT：请确认真空泵的真空压力，消除真空压力低下的原因。
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