FUJI错误代码查询.pdf - 第4375页

Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：PZR轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 ) Remedy: ------------------------------ Code: 8000F345 Display: PR轴错误(晶圆供料装置) Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 002…

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Cause: MWU12i：PZ2轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F335
Display: PZ2轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F336
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ2轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F338
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ2轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F339
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZ2轴有干涉的可能 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F341
Display: PR轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴伺服器没有Wake。(补充编码)
Remedy:
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Code: 8000F342
Display: PR轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在PZR轴错误复位之前实行了Dam系列的指令 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F343
Display: 等待PR轴动作一致 超时(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：等待PZR轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F344
Display: 数据变量未贴装(晶圆供料装置)
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴参照数据实行动作的Dam系列的指令时，不能参照数据( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F345
Display: PR轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F346
Display: 不能发表Dam(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴不能发表Dam ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F348
Display: 增益切换失败(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：PZR轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F349
Display: 有可能干涉(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F350
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头1上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F351
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头1上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F360
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头2上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F361
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Display: 在晶圆工作头的吸嘴头2上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F370
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头3上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F371
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头3上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F380
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头4上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F381
Display: 在晶圆工作头的吸嘴头4上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟得异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A0
Display: 翻转交付位置动作异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：翻转交付位置的动作失败了。( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F3A1
Display: 翻转吸取位置异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：翻转吸取位置的动作失败了。( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F3A2
Display: 晶圆拉出夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F3A3
Display: 晶圆拉出松开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
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