FUJI错误代码查询.pdf - 第4748页

Used by: NXT,AIM Cause: NXT-H：检查的结果、有可能图表偏移或者突然发生了偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] ) Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。 请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。 请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本…

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向 6：＋X方向、－Y方向 7：－X方向、＋Y方向 8：－X方向、－Y方向 ) NXTR：测定结果超出公差值。推测原因
如下。·误检测了基准定位点、相机上的异物 ·组装不良( 补充编码 )
Remedy: 请重新夹紧工作头相机。请确认定位相机或下视野相机的组装情况。还是无法消除异常时，则请更换工作头
相机。NXTR：确认影像 ·异物作为定位点识别时 (1)请除去基准定位点、相机上的异物 ·定位点偏离中心时 (1)请更
换相机工作头 (2)请调整定位点相机的安装位置 (3)请更换定位点相机 (4)请更换贴片机
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Code: 91F00000
Display:
Used by:
Cause:
Remedy:
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Code: 91F10000
Display: 通信错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 通信失败。
( 补充编码 是通信错误的详细编码。
请搜索这个编码并确认对策。 )
Remedy: 1.请确认模组和基座之间连接的通信电缆的连接状态。
2.请确认连接基座之间的通信电缆的连接状态。
3.请切断机器的主电源开关，重新接通电源。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/Hw_Base.gif">
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Code: 91F20000
Display: OS错误
Used by: NXT,AIM
Cause: 是意想不到的错误
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据并与敝公司的Support联系。
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Code: 91F30000
Display: 检测出图表偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果，找到了晶圆的图表偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。
请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。
请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司
的售后服务人员。
要以同样的晶圆重新开始生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
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Code: 91F40000
Display: 检测出图表偏移
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果，找到了晶圆上的裸芯片突发偏差。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请确认对象区域内的坏
裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日
志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司的售后服务人员。要以同样的晶圆重新开始
生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
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Code: 91F50000
Display: 检测出图表偏移
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Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：检查的结果、有可能图表偏移或者突然发生了偏移。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。
请确认对象区域内的坏裸芯片、参考裸芯片、跳过裸芯片、NULL裸芯片是否误吸取的受害范围。
请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司
的售后服务人员。
要以同样的晶圆重新开始生产时，请使用切换晶圆指令取出一次晶圆，实施重新指定吸取开始点。
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Code: 91F60000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请收集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。　
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Code: 91F70000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆生产日志有可能损坏。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)如果还是不能解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系售后服务人员。　
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Code: 91F80000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：晶圆使用中，晶圆图表的数据(文件)有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H：请确认晶圆图表的数据(行列数)是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的跟踪
数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件一起联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91F90000
Display: 晶圆生产日志异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:在使用晶圆中，对象元件数据的元件尺寸有可能变更了。不能正确地进行检查。( 补充编码 料站号码
[1～25] )
Remedy: NXT-H:请确认Job的对象元件数据的元件尺寸是否在生产中途变更。没有变更的时候、请获取错误发生时的
跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FA0000
Display: 晶圆生产记录文件(log file)异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查所必要的晶圆生产日志。对象的晶圆还没使用或者有可能晶圆生产日志损坏了。( 补充编
码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：(1)没有开始生产时，请开始进行要检查的晶圆的生产。(2) 请调查存储器。(可用空间)。(3) 不能解
决时，请重新接通电源。(4)还是没有解决时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 91FB0000
Display: 裸芯片误吸取
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H:因为处理了吸取对象以外的裸芯片，有误贴装的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取错误发生时的跟
踪数据、晶圆生产日志，并与原始的晶圆图表文件、拍摄了异常地方的晶圆照片一起联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FC0000
Display: 重复处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：对同样位置的裸芯片，找到了意外的处理结果。对象的晶圆经过几次指定吸取开始点时，指定开始
点时有搞错吸取方向的可能性。( 补充编码 料站号码[1～25] )
Remedy: NXT-H：请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。没有搞错吸取方法时
，请获取错误发生时的跟踪数据、晶圆生产日志，联系本公司的售后服务人员。　
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Code: 91FD0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：没找到检查Tool。( 补充编码 )
Remedy: NXT-H：(1)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。。(2) 没有解决时，请重新安装软件。
(3)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本
公司的售后服务人员。
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Code: 91FE0000
Display: 检查指令失败
Used by: NXT,AIM
Cause: NXT-H：因为没有来自检查Tool的应答而中断了处理。( 补充编码 料槽号码[1～25] ),NXT-
H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER
Remedy: NXT-H：(1)请再次尝试检查对象晶圆生产日志。(2)请重新接通电源，请再次尝试检查对象晶圆生产日志。
(3) 没有解决时，请重新安装软件。(4)请参照「晶圆图表核对Tool运用手册」，使用晶圆图表核对Tool进行确认。请收
集出错时的跟踪数据、晶圆生产日志后联系售后服务人员。
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Code: 92200000
Display:
Used by:
Cause:
Remedy:
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Code: 92210000
Display: 预想之外的异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 种类取得、标记确认、固有值取得·设定等的异常，
( 补充编码 )
Remedy: 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 92220000
Display: XY机械手异常
Used by: NXT,AIM
Cause: 要移动ＸＹ机械手时发生了异常。
·伺服异常，
·Xs位置异常
( 补充编码 )
Remedy: 在要移动ＸＹ机械手时发生了异常，请参考单元错误编码。
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Code: 92230000
Display: 影像处理装置异常
Used by: NXT,AIM
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