FUJI错误代码查询.pdf - 第4403页

Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F553 Display: 晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置） Used by: NXT,AIM Cause: Remedy: ------------------------------ Code: 8000F590 Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置) Used by:…

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Remedy: MWU12i：（1）：请重按START按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常时，请重新连接电源。
（3）：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F544
Display: EZ3轴动作用数据异常（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时找不到参考数据。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F545
Display: EZ3轴错误（晶圆供料装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编
码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。
(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
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Code: 8000F546
Display: EZ3轴动作无法启动（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服动作无法开始。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F548
Display: EZ3轴的增益切换失败（晶圆喂料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：增益切换失败了。可能是参数设置错误。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F549
Display: EZ3轴不能避让(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。(补充编码)
Remedy: MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F550
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏开始延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F551
Display: 突起头(Pot)吸取用真空破坏结束延迟异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F552
Display: 晶圆剥离挡板打开异常（晶圆供应装置）
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Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F553
Display: 晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F590
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起单元里填装了不明的顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请从顶起单元中除去顶起筒。
请将除去的顶起筒返还到子错误编码的插口号码中。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F591
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：顶起单元和顶起筒更换器的排出口存放格里都没有顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，请将其取出。
请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F592
Display: 顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：在顶起筒更换器中没有要更换的顶起筒。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，请将其取出。
请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。
子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。
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Code: 8000F593
Display: Pot切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Pot切换失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请在确认Pot、Pot更换器、突起单元的状态后，重新开始生产。
２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot更换器的确认。
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Code: 8000F594
Display: Pot切换中落下（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Pot切换失败了。存在Pot落下的可能性。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：１．请确认Pot是否掉落在机器内。
掉落时，请将Pot设置在Pot更换器后，重新开始生产。
２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot更换器的确认。
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Code: 8000F595
Display: EY轴干涉异常（晶圆供应装置）
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Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：突起单元与Pot更换器处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F596
Display: EZ轴干涉异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：突起单元与晶圆台处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F597
Display: EZ轴干涉异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：突起单元与晶圆处于干涉位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F598
Display: Pot吸取压力不足异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：Pot的料带吸取压力没有达到所需压力。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请实施以下项目。
１．顶起Pot的确认
　　·请进行顶起单元的夹紧部分底部和顶起Pot吸取面的检查和清扫。
　　·请确认Pot部的花纹螺丝是否松开。
　　·如果还是异常时请更换Pot。
２．晶圆的确认
　　·使用晶圆接合片时，请确认晶圆和接合片的位置关系是否平行于垂直方向。
　　·请进行晶圆料带反面的检查和清扫。
<img src="$LKEY_ERRIMG_MC$/PotCleaningParts.gif">
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Code: 8000F599
Display: 晶圆料带吸取异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：使用Pot吸取晶圆料带时，检测出过量的负压。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：MWU内部的控制机器发生故障，进行恢复时，需要更换电子真空调节器或者控制电路板。请获
取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
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Code: 8000F59A
Display: 顶起筒掉落异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆供应设备内的顶起筒置放台或顶起单元内填装的顶起筒有掉落。( 补充编码·子码标示可能掉
落的顶起筒的号码。
·显示为「０」，从顶起筒或顶起单元内掉落的可能性较大。)
Remedy: MWU12i：1．当顶起筒掉落时，请在补充编码号码所指定的顶起筒位置内搭载顶起筒，然后重新开始生产
。
2.顶起筒配置没有问题时，有可能是搭载时发生错位，请先取出顶起筒再重新搭载一次。
3.重新搭载也无法解除错误时，可能是传感器等器件发生故障。请以MWU的IO确认「顶起筒1～6无确认」
(NX052～NX057)以及「顶起筒有无确认」（NX05B）的反映。
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Code: 8000F59B
Display: 顶起筒更换器位置异常(晶圆供应设备)
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