FUJI错误代码查询.pdf - 第3861页

------------------------------ Code: 8000914E Display: 现在不使用此错误编码 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。 ------------------------------ Code: 8…

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Code: 80009148
Display: 增益切换失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] EX轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009149
Display: 有可能干涉
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于EX轴，有可能干涉。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000914A
Display: EX轴伺服行程异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 检测出EX轴伺服行程范围外的移动目标。
( 补充编码 )
Remedy: 1.请确认Job的外形数据的Length,Width等是否没有问题。
2.如果使用晶圆图表，请确认在晶圆图表的指定中没有错误。
3.如果不使用晶圆图表，请确认在晶圆示教的设定方法中没有错误。
·吸取基准位置的设定
·行列设定
4.如果在JOB中指定了参考晶片，则通过参考所求得的晶圆的倾斜、间距和中心的偏移量有可能与实物不一致。请确认
所指定的位置与实物的参考晶片的位置是否一致。
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Code: 8000914B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000914C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000914D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000914E
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000914F
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009150
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009151
Display: EZ轴的伺服不是初始状态
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] EZ轴还没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009152
Display: EZ轴的错误复位未实施
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] EZ轴在进行错误复位之前，执行了Dam系列的指令。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009153
Display: EZ轴动作一致等待超时
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在EZ轴的伺服动作的一致等待中发生了超时。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009154
Display: 数据变量が未实装
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Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在执行EZ轴进行数据参照而动作的Dam系列的指令的时候，不能够参照数据。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009155
Display: 来自EZ轴伺服的错误响应
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 来自EZ轴伺服的错误响应。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009156
Display: 不能够Dam发布
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于EZ轴，不能够Dam发布。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009157
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009158
Display: 增益切换失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] EZ轴的增益切换失败了。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009159
Display: 有可能干涉
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于EZ轴，有可能干涉。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000915A
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